中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9284083 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体シリコン・オン・インシュレータ（SOI）先進プロセス統合用に設計された先進エッチング炉です。AMAT Producer GTのこのバージョンは、業界をリードする機能サイズ、優れた均一性、クラス最高のレイテンシで設計されています。さらに、この原子炉は業界初のマルチチャンバー構成を備えており、お客様の幅広い要件に合わせて特別に設計されています。APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターには、高度なPECVDガス供給システムが装備されており、高いPECVDレートでシリコン酸化物、窒化ケイ素およびその他の誘電材料を供給することができます。この原子炉はまた、薄い平面化された誘電体層を作成するためのプラズマ強化層の堆積（PELD）能力と、化学機械的研磨（CMP）プロセスを実行する能力を持っています。CMPプロセスは、デバイス性能に優れた特性を備えた平面非揮発性誘電体層を提供します。生産者GTリアクターはまた、チャンバー状態間の迅速な切り替えを可能にする高スループットバルブシステムを備えており、プロセス時間を短縮します。さらに、原子炉の均一性は、異なるプロセスモジュールの統合を可能にします。この原子炉はまた、長距離均一性制御を提供し、広いプロセス領域にわたって正確なプロセス制御を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、自動プロセスチューニング、自己学習機能、ロックイン機能など、幅広いプロセス制御機能も提供しています。この技術により、プロセス制御はより細かいレベルに絞られ、歩留まりとサイクル時間を犠牲にすることなく、生産性と製品品質を向上させることができます。全体として、AMAT Producer GTは、高性能と信頼性と柔軟で費用対効果の高いプラットフォームを組み合わせた革新的な原子炉です。優れたプロセス制御を提供し、高度なプロセス統合で主要なデバイス性能を達成することができます。