中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9282971 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、材料加工用途向けに設計された先進的な原子炉です。これは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）マシンの一種です。この原子炉は、イオン化プラズマの増強を利用して材料膜やコーティングを形成します。AMAT Producer GTは、高温に耐えるように設計された高強度セラミック鉄の基板ホルダーを備えています。この基質のホールダーに300°C。まで温度に達することができる水晶サセプターがあります。また、400°Cまでの高温を可能にする2つのセラミックアイアンヒーターを備えています。APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターは、マルチサークル燃料設計で構築されています。この設計は、ユニークな複数のリング構成を使用して、均一なプラズマ蒸着を生成します。また、マルチサークル燃料設計により、蒸着とクリーンアップサイクル間の完全な遷移を正確に制御することができます。この原子炉には、異なる種類の材料に対して異なるプラズマ条件をプログラムできるユニークなデュアルゾーン機能が装備されています。生産者GTは、高度な電子サイクロトロン共鳴（ECR）技術を利用しています。この高度な技術は、イオン化を改善した高密度プラズマを可能にします。このイオン化の増加により、成膜速度が速くなり、材料フィルムやコーティングの均一性が向上します。また、ECR装置は、蒸着プロセスに関連する生産コストを削減します。原子炉の真空圧力範囲は1x10-7〜1x10-3 Torrです。また、チャンバーへの防爆アクセス、緊急エアシャットオフ、ホットガスバイパスパイプなど、いくつかの安全機能を備えています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターには、高度なリモートアクセスシステムが装備されています。これにより、遠隔地からの原子炉の制御と監視が可能になります。リモートアクセスユニットには、診断、リアルタイム監視、データロギングも備えています。このマシンは、ダウンタイムを最小限に抑え、コストを削減するように設計されています。要約すると、AMAT Producer GTは、高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。デュアルゾーン制御、マルチサークル燃料設計、電子サイクロトロン共鳴（ECR）技術、高度なリモートアクセスツールを備えています。この原子炉は、材料フィルムやコーティングにおいて、より速い蒸着速度とより高い均一性を達成するように設計されています。高温や精密なプロセス制御を必要とする材料加工用途に最適です。