中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9275950 を販売中
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ID: 9275950
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
System, 12"
EFEM
O3 Rack
AC Rack
NPP Rack
Main TM
HARP USG Chamber
Monitor
(3) Part boxes
(2) KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots
UPS Interface
Front Interface (FI):
(3) Part boxes
WIP Delivery type: OHT
Chamber A, B and C twin: HARP USFG
Local center finder
Robot blade and type: FX Dual deck ceramic
Chamber A, B and C:
HA12 Dual zone heater
Face plate: Water cooled
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (RPS): MKS FI80133
No NDTR endpoint
No DPA
Foreline, 2"
ISO: NORCAL 021010-1
TV: MKS 683B-31931
Monitor: Stand alone
Chamber C: AX8407A Ozone generator
Ozone generator rack: Eterna
Gas delivery - APF GP:
MFC: GF 125
Gas feed: Bottom
Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust
NIPPON Filters
Manual valves: FUJIKIN
Pneumatic valves: FUJIKIN
Liquid source
No regulated gas panel
No interlock indicator
No transducers
No display gas pallet
Gas pallet configuration:
Chamber A, B and C:
MFC: N2-Purge
Gas / Size
NF3 / 15000
AR / 15000
N2 / 5000
O2 / 30000
HE / 30000
N2 / 50000
LFM: STEC
TEOS: 7g
Spare parts included
Missing parts:
(2) AX8407A Ozone generators
(6) 0246-22744 Heater lift assemblies
0240-80219 Ring
(2) Ceramic heaters
Chamber B: Lift assembly
Chamber B and C: (2) Controller boxes with board
Power supply: 208 V, 50/60 Hz
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、太陽電池材料の薄膜蒸着用の高度な次世代原子炉です。材料前駆体から高効率の太陽光発電セルやモジュールまで、太陽光発電（PV）製造プロセスを完全に自動化できるように設計されています。自動化、柔軟性、および高性能の組み合わせにより、AMAT Producer GTはPV製造の画期的なツールとなります。APPLIED MATERIALS Producer GTは、テクノロジーとイノベーションの複数の進化世代に基づいています。先進の第10世代プラットフォームは、プロセスモジュールとソフトウェア制御を統合した完全に自動化された専用のマルチツールリアクターで構成されています。特徴と進歩には、基板ステップ変位、基板サイズ/形状アダプタ、高度なガス流量制御、および低コストのソース統合が含まれます。Producer GTに内蔵されている統合プロセスモジュールは、PVセルとモジュール世代のための新しい機会を開くために使用されます。これらの最先端のモジュールは、大容量および高スループットでの生産を成功させるために必要な最高レベルのパフォーマンスと柔軟性を提供します。プロセスモジュールは、超薄膜材料の堆積とPV材料層の厚さと組成の精密な制御を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTはまた、優れた効率でダブルおよびトリプルジャンクション薄膜太陽電池およびモジュールの生産を可能にすることができます。ソフトウェア制御プラットフォームは、プロセスモジュールと組み合わせて高度な操作を可能にします。これには、リアルタイムのプロセス監視、トラブルシューティング、および診断機能を備えた手動操作と自動化された操作の両方が含まれます。フルオートメーションシステムは、生産コストを逆転させ、歩留まりを増加させ、最大出力のためのすべてのパラメータを厳密に制御することができる、より高速なスループットを可能にします。合成では、AMAT Producer GTは、PV材料の効率的な生産を可能にする多くの利点と利点を提供しています。プラットフォームは、蒸着プロセスを自動化し、エラーとコストを削減し、高効率のPVセルとモジュールの生産を促進します。高効率の太陽電池やモジュールの生産を最適化しようとする組織に最適な選択肢です。
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