中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9270849 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、金属エッチングおよび加工プロセスに使用される高度なエッチング装置です。このシステムは、高いエッチング速度と精密なエッチング制御を提供するように設計されており、製造メーカーは高精度で高品質の加工およびエッチング結果を提供することができます。AMAT Producer GTは、主要なプロセスチャンバーとRFソース、フィードスルー、石英チューブ、および機械および電気部品で構成されるプラズマ処理チャンバーユニットです。プロセス部屋は温度および電気絶縁材を提供する酸化アルミニウム材料を使用して最適プロセス制御および性能を保障するために組み立てられます。RF源は3つの電極ペアで構成されており、高密度プラズマ処理が可能です。フィードスルーと水晶チューブは、電気部品とガスに必要な接続を提供します。APPLIED MATERIALS Producer GTはまた、安全インターロックマシンを組み込んで、ツール全体が安全で規制に準拠していることを保証します。生産者GTは、プラズマエッチングやプラズマアシスト加工などの周波数制御プラズマプロセスを適用します。この資産は、1.0µm/minまでのレートと0.4µmまでのエッチング解像度をエッチングすることができます。高いエッチング速度と精密な制御により、製造メーカはサイクルタイムとスループットを最小限に抑え、望ましい結果を達成することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、オペレータのトレーニングや調整を最小限に抑える完全自動化モデルです。ガスフロー、圧力、温度、周波数を自動的に調整し、信頼性と安定したエッチング性能を実現します。装置はまた制御画面でさらに調節可能であるすべての変数を監視します。これに直感的なプロセス最適化アルゴリズムを組み合わせることで、正確なプロセス制御と目標とする結果を得ることができます。固体エッチング性能に加えて、AMAT Producer GTも高度に設定可能で、広範なプロセス機能を提供します。また、銅、アルミニウム、スチール、チタン合金などの幅広い互換性のある材料を有し、また、直径200mmまでのウェーハをエッチングすることができます。このシステムは、酸素、アルゴン、水素、窒素などのさまざまなガスとも互換性があります。APPLIED MATERIALS Producer GTは、効率的な金属エッチングと加工プロセスのための精密なエッチング速度と制御を提供する先進的なユニットです。高性能、優れた設定性、直感的なプロセス最適化アルゴリズムを備えたProducer GTは、高精度、高品質のエッチングおよび加工結果を達成するのに最適なマシンです。
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