中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9265758 を販売中
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ID: 9265758
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
CVD System, 12"
EFEM
Transfer module
AC Rack
NPP Rack
WIP Delivery type: OHT
Pre-alignment and centering: Single axis aligner
Wafer pass thru and storage: 7 Slots wafer pass thru
KAWASAKI 3NS510B Atmospheric robots
(4) Load ports
E84 Sensors and cables
OMRON With RF
Light curtain
Carrier ID host interface
Light towers
UPS Interface
Chamber process: HARP USG
Process chamber type:
Chamber A, B and C Twin: HT-ACL
Local center finder
Robot blade and type: FX Dual deck ceramic
Chamber A, B and C:
Frequency: Single
APEX 3000 RF Generator
Heater: HA12 Dual zone heater
Single source with RF cap
Manometer: 10 / 100 Torr / 70 Trip
Clean type (RPS): Single (NPR804L)
No NDTR endpoint
No DPA
Foreline, 2"
ISO: MKS 99D0654
TV: MKS 683B-26033
Monitors:
Stand alone
TTW With keyboard
Gas delivery - APF GP:
MFC:
UNIT 125
GF 125
No regulated gas panel
Gas feed: Bottom
Gas panel cabinet exhaust: Bottom exhaust
No interlock indicator
No transducers
No display gas pallet
No liquid source
Gas pallet configuration:
Chamber A:
Gas / Size / Model
AR / 4000 / Unit 125
O2 / 15000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / GF 125
HE / 5000 / Unit 125
N2 / 10000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / Unit 125
O2 / 10000 / Unit 125
AR / 10000 / Unit 125
NF3 / 5000 / Unit 125
Chamber B and C:
Gas / Size / Model
AR / 4000 / Unit 125
O2 / 15000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / Unit 125
HE / 5000 / Unit 125
N2 / 10000 / Unit 125
C3H6 / 3000 / Unit 125
O2 / 10000 / Unit 125
AR / 10000 / Unit 125
NF3 / 5000 / Unit 125
Missing parts:
A1 RF Signal cable
L/L EUROTHERM controller
(2) PIRANI Gauges
Chamber C: (2) Heaters
(2) L/L Lift LM guides
Upper L/L foreline
(3) Chamber AC box kits
Mainframe box
Driver box kit
Power supply: 208 V, 50/60 Hz
2006 vintage.
AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体産業のニーズに応えるために設計された高温化学蒸着（CVD）炉です。この原子炉は、酸化、窒化、炭化などの多くのプロセスを可能にします。AMAT Producer GTは、単一のウェーハ構成またはバッチ構成のいずれかで提供され、長期的な安定性と信頼性のために設計されています。この原子炉は、実証済みの強制流量ガス供給装置を使用しており、原子炉室内で均一な温度と濃度プロファイルを生成することができます。これにより、一貫したフィルム品質と非常に均一なドーピングプロファイルが保証されます。この原子炉には、堅牢な空冷ヒーターと、プロセスの均一性を向上させる最先端の温度制御システムが装備されています。原子炉内の加熱素子は、ウエハ表面の温度均一性を確保するためにアクティブなウォータージャケットを使用しています。これにより、ウェーハの過熱を防ぎ、より均一な蒸着を保証します。原子炉はステンレス製で、真空チャンバー、バッチプレート、ガス供給ユニット、誘導発電機を備えています。この原子炉は、高真空および急速制御と圧力レベルのサイクリングのための高容量スクロールポンプを利用しています。部屋は熱負荷の損失を減らすために水晶かグラファイトと絶縁されます。APPLIED MATERIALS Producer GTは、堅牢で信頼性の高いプラズマ生成のために、大容量、低消費電力のRF発電機およびRF電源供給機を使用しています。温度制御ツールは高精度かつ高精度で、広範囲の流量、温度、圧力にわたって高品質で均一な蒸着速度を実現します。この原子炉には、さまざまな材料や用途のための幅広いプロセスレシピ、流路やバルブ選択のカスタマイズが含まれています。また、スイートで複数のリアクタを操作するためのオプションのレシピライブラリとコンピューター制御パッケージも利用できます。要するに、Producer GTは、一貫したフィルム品質と均一なドーピングプロファイルを提供するように設計された、信頼性が高く効率的なCVD炉です。堅牢な空冷ヒーターと優れた温度制御アセットにより、均一なフィルム特性と性能が保証され、幅広いプロセスレシピにより、汎用性の高いアプリケーションに使用できます。
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