中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9251459 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、大量の薄膜半導体材料の製造に最適な、300mm垂直拡散化学蒸着炉です。この原子炉は、大量の製造、プロセス制御、および均一性の要件に対応するように設計されています。このリアクタの垂直形状は、ウェーハ表面全体にわたって優れた均一性を提供しながら、低い蒸着速度で高スループットを保証します。AMAT Producer GTは高温シングルゾーンリアクター設計を特徴としています。3つの6kW、 800アンペアのRFジェネレータ電源、3 軸RFトランスを装備しています。この装置は、シリコン、タングステン、チタン、タンタル、銅、アルミニウムなどの薄膜材料の堆積に最適です。APPLIED MATERIALS Producer GTは、レイヤーの均一性を最適化するために特別に設計され。チャンバーの温度は密接に調整され、蒸着チャンバに導入する前にガスを冷却することで、チャンバーの温度が大幅に低下します。この原子炉は多段式負荷ロックシステムを備えており、複数のチャンバにわたってプロセスの柔軟性と安定性を提供します。温度、圧力、ガスの流れを含むプロセスパラメータを正確に調整できます。また、4チャンバーのガス分配ユニットを使用し、プロセスの変動をさらに低減します。また、オプションのガスバリアマシンにより、堆積室内の汚染を効果的に抑制します。プロセスコントロールを最適化するために、Producer GTは包括的なリアルタイム診断および制御ツールを備えています。これらのツールを使用すると、すべての重要なプロセス変数をリアルタイムで監視できます。また、設定や操作上の変更に対処するためにプロセスパラメータを素早く調整できます。これにより、大量生産で一貫して均一な結果が達成されます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、300mm、 25mm、および12インチのウェーハサイズに対応するように特別に設計されたサンプルロードロックも備えています。サンプルロードロックには、ウェハハンドリングポート、ガスパージポート、ガスマニホールド、サンプルポジショニングコントロールがあり、すべてのサンプル挿入とロードロックチャンバーからの除去を完全に制御できます。AMAT Producer GTは、高品質の薄膜半導体材料を製造するための汎用性、信頼性、信頼性の高い生産環境を提供します。その先進的な設計により、優れた層の均一性、プロセスの柔軟性、およびプロセス制御が保証され、堅牢なビルドにより、大量生産の厳しい要件を満たします。