中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9245892 を販売中

ID: 9245892
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
CVD System, 12" 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、さまざまな用途のための複雑な機能性ウェーハを製造するために設計された半導体製造ツールです。このツールは、集積回路やその他のマイクロ電子部品の量産を可能にするように設計されています。この原子炉は、沈殿、エッチング、酸化など、半導体産業の多くのプロセスに使用されています。AMAT Producer GTは、ハイスループットと高収量の製造のためのクラスタツールプラットフォームを利用しています。このシステムは、複雑な半導体デバイスのスループットと製造効率を向上させるために特別に設計されています。このツールは、さまざまなプロセスツールに対応できるモジュール式の調節可能なチャンバーアーキテクチャを備えています。複数のプロセスツールを1つのチャンバにグループ化することで、生産性と柔軟性を高めることができます。このツールには、自動レシピのセットアップ、クローズドループ制御、スループットを最適化するためのツールのステージング、最高レベルの稼働時間のためのプログラム可能な基板処理などの高度な制御機能と機能が装備されています。このツールは、さまざまなプロセスのニーズに対応するために、いくつかのタイプのリアクタを備えています。これらには、低圧化学蒸着(LPCVD)およびプラズマ強化化学蒸着(PECVD)チャンバーが含まれます。エッチングチェンバー;酸化チャンバー;インラインゲートエッチツール;ポリッシャー、ポリシリコン、タングステン、酸化物、窒化チタン、窒化物などの様々な材料のために。APPLIED MATERIALS Producer GTは、基板ロードロック、トレンチモニタ、カスタムプロセス制御ロジック、欠陥管理機能など、多くの高度な機能を備えた統合プロセスフローを提供します。このツールには、パフォーマンスを監視するためのメンテナンス追跡システムと、部品ステージング、ストレージ、および検索用に設計されたサブシステム倉庫も内蔵されています。Producer GTは、非常に複雑な半導体デバイスの製造に使用される高度なツールです。このツールは、スループットと製造効率を最大化するように設計されており、重要な部品の効率的な大量生産を可能にします。このシステムのモジュラーアーキテクチャと高度なプロセス制御により、半導体デバイスの製造にとって貴重な資産となります。
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