中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9235101 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9235101
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
CVD Systems, 12" 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、幅広い半導体および結晶製品に優れた加工ソリューションを提供する先進的な原子炉です。この原子炉は、ウエハ加工、酸化物層材、シリコン増殖など、さまざまな動作モードで材料を処理することができます。AMAT Producer GTは、複数の基板を同時に処理する独自の能力を持つヘリウム充填超高真空チャンバーをベースとしています。これにより、多基板処理の業界をリードするシステムの1つになります。効率的な生産プラットフォームには、高温プロセスチャンバー(+1000°C)、高速サンプル処理用の大型マルチスロットサンプルホルダー、製品の積み下ろしを容易にするための自動化など、多くの重要な機能があります。APPLIED MATERIALS Producer GTの効率的なヘリウム充填チャンバーには、高信頼性の実験室グレードポンプと、シラン、アンモニア、アルゴンなどの典型的かつ特殊なプロセスガスキャビネットが装備されています。また、サンプルやプロセスパラメータを監視することができる完全なオンボード安全システムを備えており、故障した場合には、安全な方法で原子炉をシャットダウンします。Producer GTは、1シリンダーで最大150mmのサイズのウェーハを処理することができ、その後、さらに2シリンダーにロードしてアンロードすることで、スループットを向上させることができます。大きなフィルムや複雑なフィルムを処理するサイクルタイムを短縮し、ターンアラウンドタイムを短縮できます。また、薄膜蒸着、急速熱処理、原子層蒸着など、さまざまな用途に対応できるように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、グラフィックス付きの直感的なプロセス電気パネル(PEP)ディスプレイや、システムを簡単に操作するための完全なQWERTYキーボードなど、さまざまな機能を備えています。また、さまざまなシミュレーションや解析ソフトウェアと通信できる統合制御システムを備えており、ユーザーがプロセスを最適化するのに役立ちます。また、事前に実行したデータを保存してリコールするための高度なプロセス評価データベースも備えており、取得したデータにアクセスして分析することで、運用効率を向上させます。全体として、AMAT Producer GTは、優れたプロセス能力と幅広い半導体および結晶製品のスループット向上を実現するように設計された先進的な機能豊富な原子炉です。効率的な生産プラットフォーム、直感的なインターフェイス、柔軟なソフトウェアにより、ユーザーはさまざまなアプリケーションで生産歩留まりを最大化できます。
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