中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9235066 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactorは、半導体デバイスの製造における浅いトレンチ絶縁（STI）、バリアメタルおよびパッシベーション層に使用される先進的な材料沈着（AMD）チャンバーです。AMAT Producer GT Reactorは、高度な製造精度、精度、堅牢性を兼ね備えた高度な技術により、高度な半導体デバイスを製造するための高信頼性かつ効率的な蒸着装置です。APPLIED MATERIALS Producer GT Reactorには、いくつかの最先端の機能と機能が含まれています。このシステムは高い生産率を提供し、複数の複雑なプロセスを並行して実行することができます。ユニットの主なコンポーネントには、自動蒸着チャンバ、サセプターとウェーハトランスポータ、エピレディチャンバー、デュアルチャンバーのマイクロ波発電機、およびいくつかの追加アクセサリがあります。この原子炉は、シリコンウェーハを高真空環境にさらすことによって動作します。サセプターはウェーハを生産段階のプロセス位置に持ち上げ、ウェーハトランスポータはウェーハをステージからストレージベイに戻します。サセプター、ウェーハトランスポータ、生産段階はすべて電気的に動力を与えられます。エピレディーチャンバーは、究極の堆積プロセスが行われる場所です。チャンバー内の精密な配達機械は、原料のビンから薄く均一なフィルムの形で加熱されたサセプターにシリコン、二酸化ケイ素、シリサイドなどの材料を供給します。その後、この堆積物は研磨、エッチング、またはウェーハ上に望ましい機能を作成する他のプロセスに服従します。マイクロ波発電機は、ツールの中で最も洗練されたコンポーネントです。マイクロウェーブエネルギーを生成してウェーハを正確に加熱し、高精度で一貫した薄膜蒸着を可能にします。Producer GT Reactor用のデュアルチャンバーマイクロ波発電機には、4つの独立したアンテナ、2つのマイクロ波制御ボックス、および複数のRF源が含まれています。マイクロ波発電機はまた、エネルギー効率が高く、基板全体で均一な極めて低温の基板加熱を提供し、基板への熱損傷を防ぎます。アセットの他の高度な機能には、高度な安全インターロック、サセプターの高さと温度の自動キャリブレーション、およびクローズドループ温度制御があります。これらのすべての機能により、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT Reactorは、高度な半導体アプリケーション向けの最も高度で信頼性の高い蒸着システムの1つになります。