中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9233074 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9233074
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12"
Control system: Device net protocol
EFEM Communication: SFEM
Wafer sliding detection sensors: LCF
Signal tower: Common SPEC
Door interlock sensor
Pressure difference interlock: LL->TM->Chamber
Slit valve:
L-Motion
No viton o-ring
Air regulator
EYE Mark display on M/C: LP1, LP2
Chamber A / B / C
Gas box
Turbo pump
RPC
RF Generator
Match
Electric valve & Load lock & Tm installed
TM Blade: ALN
No o-ring in chamber region
No gate valve o-ring & Air regulator
Missing / Detaching parts:
(6) HARP AIN Heaters P/N: 0010-59796
Q-Code Q400-168177
FI. RT, FE Computer
Practical preventing system in EFEM: 0.065µm Filter / Venting air
Process: HARP, BPSG, ARC, P-TEOS
Blue electrostatic chuck: Low temp 300° C
Turbo screen location: Below chamber
Heat exchanger: SUS Connector & Power vaccine
Upgrade list pin mechanism: Dual lock list pin
RF Reflect filter system / BIAS: Auto match
Heat exchanger coolant: ZT180
Chamber lift speed: Stepping motor
ESC Water leak
RF Generator reflect power: Below set point 0.5%
Input / Output port stage: OHT
FOUP Capability: (25) Slots
System monitor: LCD
Remote monitor: Keyboard, LCD
Gas line: 5- RA surface mounted c-seal
Gas configuration: C3H6, O2, NF3
Gas line polishing: E/P 5-RA
Filter: SUS316 SS/NF3 Hastelloy
Gas box temperature: Display by digital gauge
Negative voltage MFC signal: Display interlock
Chamber pump: SAMSUNG
Load lock & TM Pump
Tempered type: Capacitance manometer for chamber pressure control
Pressure transducer for chamber: ATM Switch
TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve
General power & UPS Power: AC Rack design change for VDP
Ground for D-net: Chassis
Circuit safeguard: Circuit breakers
Internal utility line color: SEMI Standard
Head exchanger: Pressure control
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、高度な回路の製造のための蒸着プロセスソリューションを提供するために設計された垂直電気化学蒸着炉です。この原子炉は、アルミニウム、銅、チタンなどのあらゆる基板上で高品質の蒸着プロセスを提供するように設計されたビーク状の円筒形容器です。AMAT Producer GT-800とAPPLIED MATERIALS Producer GT-1000の2つのモデルがあり、銅めっき、無電解銅めっき、ALD、 CVDプロセスなどの複数のプロセス能力のための調整可能なプロセスチャンバーを備えています。この設計は、垂直容器、低熱質量コンデンサ、および統合基板サポートを組み合わせた高アスペクト比ビーカーアーキテクチャに基づいています。このジオメトリは、反応容器の接点と壁の間の均一な空間に接触する低抵抗の電気接点で、均一でスケーラブルなプロセスを作成します。Producer GTには、正確なプロセス制御のための高度なカスタマイズ可能なソフトウェアとハードウェアオプションも付属しています。これにより、現実的で一貫したプロセスパラメータで簡単な操作と再現可能な電気めっき結果が得られます。プロセスチャンバーは、厳格なプロセスコントロールと真空洗浄手順により、汚染から保護されています。この設計は、最適化されたユーザーフレンドリーな液体供給装置と洗練されたポンプ制御ロジックを組み合わせており、高いスループットで正確で一貫した再現可能な電気めっきソリューションを可能にします。この原子炉には、プログラムの精度と再現性のための高度な温度管理と、プロセス中の水分レベルを管理する統合湿度制御システムが装備されています。高度な制御ユニットはまた、時間、温度、圧力、厚さ、およびその他の重要なプロセスパラメータでの測定で、プロセスのリアルタイム監視を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターのさまざまなカスタマイズ可能なオプションは、優れた電気化学蒸着ソリューション機能を提供します。優れたプロセス制御により、幅広い基板から幅広い材料を堆積することができます。高度でユーザーフレンドリーなマシンは、柔軟性と反復可能な結果を提供します。
まだレビューはありません