中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9206068 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT（別名PGT）は、シリコンのウエハーを加工するためのツールです。クラスタ型プラットフォームを使用し、多くの機能を提供するモジュラーリアクターです。AMAT Producer GTは、プロセスステップチャンバー（PSC）、セントラルコントローラ、トランスファーシステムの3つの主要コンポーネントで構成されています。PSCはシステムの中心であり、セントラルコントローラによって制御されます。すべての処理が行われる円筒形のチャンバーです。内部には、多数の熱絶縁ガスインジェクタがフランジを囲み、ウェーハを収容しています。インジェクタはチャンバー内の温度と圧力を正確に制御することができ、酸化やエッチングなどのプロセスを正確に制御できます。アプライドマテリアルズプロデューサーGTは、PSCの内外にウェーハを転送するために、さまざまな転送システムを装備することができます。標準的な転送システムには、エントランスポート、ロードロック、ウェーハチェンジャーが含まれます。また、さまざまな自動および手動転送システムがあります。PGTは300 mmと200mmの両方のウェーハを処理することができ、幅広い種類のウェーハを受け入れて処理することができます。50〜1200°Cの広い処理温度範囲と1〜50 Torrの圧力範囲を提供します。これにより、酸化、エッチング、沈着などのさまざまなプロセスが可能になります。生産者GTはまた、精密な制御機能、自動転送システム、および十分に設計されたセンサーにより、優れた再現性と精度を提供します。これにより、さまざまなプロセスやウェーハの種類にわたって、常に高い歩留まりと歩留まりを実現できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、さまざまな半導体および太陽光発電アプリケーションに最適なツールです。幅広いウェハタイプのコスト効率と信頼性に優れた処理が可能で、優れた再現性と精度を提供します。このツールはモジュール式で簡単にカスタマイズ可能で、生産およびR&Dアプリケーションでの使用に適しています。