中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9198996 を販売中
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販売された
ID: 9198996
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
CVD System, 12"
Number of loadports: 4
Factory interface model: 5.4
AMHS Configuration: OHT
Chamber A:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Chamber B:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Chamber C:
SACVD Twin
Process: HARP USG
RPS Type: 6 Litre
Heater type/Part number: Vacuum chuck
Process kit type: HARP kit
Computers:
FE Computer type: FES
FI Computer type: FIS
RT Computer type: CL7
Misc hardware:
FI Robot type: KAWASAKI Track
Buffer robot type: GT
Remote AC: 208V
Heat exchanger 1: Unisem
FI Robot blade type: Aluminum
Buffer robot blade type: Ceramic
LCF/Wafer detect: LCF
Roll around monitors: (2)
Ozone cabinet: Inusa
Number of ozone generators: 3 MKS
Gas panel configurations:
Gas box type: 1-1/8 C-Seal surfacemount
Stick 1: NF3 - 15000sccm
Stick 2: AR - 15000sccm
Stick 3: N2 - 5000sccm
Stick 4: N2 - 50000sccm
Stick 5: He - 30000sccm
Liquid 1: TEOS - 7g/min
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、成膜プロセスにカスタマイズ可能なソリューションを提供する高度な成膜システムです。この反応チャンバーには、完全に柔軟なソースアーキテクチャが含まれており、堆積レシピを特定の顧客のニーズに合わせて調整することができます。AMAT Producer GTは、連続的なウェブ蒸着技術を活用しながら、基板温度、圧力、流量を正確に制御できるように設計されています。APPLIED MATERIALS Producer GT反応チャンバーの主な構造は、多種多様な基板サイズと形状をサポートできる高品質の金属真空チャンバーで構成されています。真空チャンバー内に位置するソースは、高出力のRFジェネレータとるつぼで構成されています。また、生産リアクターは、高度なスキャン技術と自動アライメント機能を備えており、正確な制御と均一な蒸着を提供します。これにより、形状やサイズに関係なく、すべての基板の一貫したカバレッジが保証されます。RFジェネレータとるつぼは、CVD源を利用してアルミフィルムを生成する蒸着チャンバーに接続されています。CVDソースは、フィルム成形ガスの非常に豊富な供給源を提供し、非常に薄いフィルムを一度に複数の基板に堆積させることができます。さらに、蒸着チャンバは、20oCまでの極めて低い基板温度を得ることができます。これにより、高いアスペクト比の堆積と接触抵抗の低減を可能にし、フィルム品質の向上を可能にします。効率と生産性を最大化するために、Producer GTにはさまざまな高度なツールが搭載されています。オンボードロボットアームは、基板を素早くロードおよびアンロードするように設計されており、プロセス間のダウンタイムを最小限に抑えます。反応チャンバーはウェブ輸送システムも備えており、基板のフルロールを一度にロードおよびアンロードすることができます。これにより、スループットが向上し、1回の実行でより大きなバッチサイズを処理することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、精密堆積物と生産性の向上を提供できる高度でカスタマイズ可能なソリューションです。この反応チャンバーは、自動スキャン、CVDソース、ロボットアーム、ウェブ輸送システムなど、さまざまな先進技術を備えており、特定のプロセス要件に合わせて調整することができます。
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