中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9169317 を販売中

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ID: 9169317
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12" Parts machine 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体、オプトエレクトロニクス、太陽電池のさまざまな材料の広範囲および薄膜層を生成するように設計されたシングルウェーハまたはバッチ熱化学蒸着(CVD)原子炉です。AMAT Producer GTリアクターは、精密機能と多目的なプロセス機能で有名であり、幅広い用途に適しています。このシステムには、33リットルのボリュームと1000°Cまでの温度範囲を備えた高品質のプロセスチャンバーが装備されています。これは、信頼性の高いプロセス制御と均一性を保証する堅牢な設計を備えており、最大300mm×300mmのウェーハ処理能力を備えています。ユニークな均一な放射熱吸収剤設計により、基板とプロセスガスの両方の均一な加熱が保証され、プロセス制御と高スループットが向上します。APPLIED MATERIALS Producer GTリアクターには、最先端のプロセスコントローラが搭載されています。高度なアルゴリズムにより、手動でも自動でもウェーハシェーピングが可能で、ユーザーはさまざまなウェーハタイプやサイズのプロセス性能を最適化できます。コントローラはまた、さまざまなレシピをサポートしているため、プロセスを簡単にプログラミングしたり、異なる材料の設定を最適化したりすることができます。このシステムには複数のガス源とバルブが装備されており、プロセスに応じて正確でカスタマイズ可能なガスの流れを可能にします。また、処理中に正確かつ迅速なガス交換を行うための高真空ポンプモジュールと、正確な材料供給のためのるつぼインサートを備えています。生産者GTリアクターは、最新の半導体、オプトエレクトロニック、太陽電池アプリケーションに最適です。革新的な設計、堅牢な構造、正確な制御、多目的なプロセス機能により、ユーザーは最高レベルの再現性と均一性を備えた高品質の薄膜および大面積レイヤーを効率的に製造できます。
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