中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9152528 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 9152528
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2017
Chambers, 12" 2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体産業で広くエッチングに使用されている世界有数のプラズマ炉です。薄膜、バルク半導体、ディスプレイなど、さまざまな基板用途で精密な制御を可能にする制御可能な高密度エネルギーを提供します。AMAT Producer GTは、独自の大気圧、低エネルギー、誘導結合プラズマ放電を利用しており、基板全体に優れたプロセス均一性を備え、高い信頼性を備えています。プラズマプロセスは、調整可能な供給力とバイアス力によってアプリケーションに調整され、幅広い材料やフィルムに適しています。プロセスのクローズドループ制御は、高い生産需要の下でも、再現可能な結果で最高の精度を可能にします。プロセス温度は、表面汚染や劣化を防ぐため、200°C以下で低く保たれます。イオンと電子の両方の源は、追加の圧力制御とともに、安定したプロセスを提供し、信頼性の高い生産出力を保証します。APPLIED MATERIALS Producer GTは、プロセス速度とスループットの向上を目的とした幅広い追加機能を提供します。その中には、高速電極アークオーバー保護、迅速な再点火、遠隔サンプル分析などがあります。プロセスガスフローシステムは、アプリケーションごとに個別にチューニングすることができ、最適なエッチングプロファイルを提供します。この原子炉は非常に効率的で費用対効果が高く、モジュール式の設計により、メンテナンスと修理が簡単になります。プロセスチャンバーは耐腐食性材料で作られており、原子炉の長期的な信頼性と安全性を高めるのに役立ちます。すべてにおいて、Producer GTは非常に汎用性と信頼性の高い原子炉であり、可能な限り最も効率的な方法でエッチング品質の最高解像度を生成するように設計されています。そのユニークでパワフルなデザインは、様々な機能と組み合わせて、最も複雑で要求の厳しい半導体アプリケーションに理想的です。
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