中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293822848 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、ポリシリコン、窒化ケイ素、二酸化ケイ素などのシリコン含有物質の薄膜を堆積するために使用されるプラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。この原子炉は、高度な処理性能を最適化し、1000nm/時間までの速度で高い均一性と最高のフィルム品質を提供するように設計されています。デュアルRFソース構成（スプリットコア）により、特定のアプリケーションのニーズを満たすために、堆積材料の柔軟な電力とレート制御が可能になります。サセプタサイズの大型化と均一性制御の強化により、ウェーハなどの大型基板への材料の堆積に最適でありながら、デバイス寸法の精密な調整を可能にします。チャンバーは、独立した圧力制御を備えた2つの垂直プロセスゾーンに分割され、上下ゾーンの真空レベルが分離されています。この設計により、異なる速度で材料を堆積させることができ、異なるプロセス間の相互汚染を防ぐことができます。さらに、原子炉は、チャンバー全体と2つの垂直プロセスゾーン間の均一な温度制御を維持するための高度な垂直冷却機能を備えています。高度なクローズドループ試験（CLT）装置は、リアルタイムでプロセスパラメータを迅速に測定および調整し、正確なフィルム品質と非常に高い均一性を保証します。PECVDシステムは、サイドウォール蒸着、高率蒸着、低k蒸着、平面化、エッチング/ストリップ、多層/スタック蒸着など、さまざまなアプリケーションのためのさまざまなオプションで構築されています。さらに、Dynamic Low Fluoride （DLF）オプションなどの高度なガス供給システムをさらに装備することで、汚染を最小限に抑えることができます。要するに、AMAT Producer GT PECVDリアクターは、優れた蒸着性能と特定のプロセス要件を満たすための柔軟性を備えた最高のフィルム品質を提供するために設計された、使いやすい制御と優れた均一性制御を備えた高度な機械です。