中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293627621 を販売中

AMAT Producer Gold （AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT）は、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）炉の一種である。プラズマを使用して、半導体やその他の電子基板の表面に高品質のフィルムを堆積させます。AMAT Producer GTは、シリコンアルカン、窒化物、酸化物、フルオロカーボンなど多種多様な材料を処理できる汎用性の高いPECVDシステムです。この原子炉は、基板への広いオープンアクセス、優れた均一性制御、より狭い機能プロセス制御などの機能を提供する生産グレードのプロセスチャンバーを備えています。生産グレードのチャンバーには、2つのRF加熱源、マイクロ波プラズマ源、および高周波マグネトロン源があります。このユニークな組み合わせにより、幅広い層材料のプラズマ制御、均一性の向上、および高い沈着率が可能になります。APPLIED MATERIALS Producer GTは、再現性、信頼性、高効率のプロセスを提供するように設計されています。その主な機能には、最大800°Cの高いプロセス温度機能と、室内の加熱および冷却された壁が含まれます。これにより、エキゾチックな材料を加工したり、ハイエンドのプロセス手順を実行した場合でも、一貫した反復可能な結果が保証されます。Producer GTには、アプライドマテリアルズ独自のVESPER （Variable Energy Surface Plasma Enhanced Reactor）技術も組み込まれており、プラズマ密度、エネルギー、分布を正確に制御できます。VESPERはまた、ユーザーに膜厚、組成、屈折率の正確な制御を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、2インチから8インチのウエハーまで、さまざまなウエハサイズを実行できます。AMAT Producer GTには、蒸着実行の各層のパラメータとデータを監視する正確なレイヤーバイレイプロセス制御ユニットが含まれています。これにより、正確で反復可能なプロセスが可能になり、ユーザーは毎回の実行で目的の結果を一貫して達成することができます。APPLIED MATERIALS Producer GTは、乾燥窒素パージ付きの低温ベーキングマシンも備えており、-25°C〜+200°Cの標準生産ソリューション温度を実現します。結論として、Producer GTはハイエンド蒸着プロセス用に設計されたPECVD原子炉です。このツールは、再現性と信頼性の高いプロセスを確保するための幅広い機能を備えています。このアセットは、ウェーハサイズの配列を実行することができ、レイヤごとにプロセス制御モデルを使用することで、実行ごとに正確かつ一貫した結果を得ることができます。