中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293618158 を販売中
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ID: 293618158
ヴィンテージ: 2008
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system
EFEM
Load port
PC
(2) KAWASAKI 3NX510B-D001 Desk handlers
KAWASAKI 30D61I-A003 Holding controller
Transformer
BROOKS Mag8 0190-25011 Robot
Robotic arm
(3) RPS 3L
(3) Apex 3013 RF Generator
(3) Heaters
(3) Chambers
(3) Power boxes missing
Gas configuration:
NF3 1000sccm
NF3 1000sccm
Ar 5000sccm
(2) O2 15000sccm
C3H6 3000sccm
He 5000sccm
He 15000sccm
N2 15000sccm
Ar 15000sccm
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、さまざまな基板に薄膜を堆積させるように設計された先進的な熱蒸発装置です。主に電子材料や部品製造に使用されています。AMAT Producer GTは、メーカーの正確な仕様に薄膜を堆積させるための優れた信頼性と精度を提供します。このシステムは、シリコン、アルミニウム、チタン、その他の金属を含む幅広い材料を堆積することができます。アプライドマテリアルズ・プロデューサーGTは、電子ビーム蒸発器を使用して、基板上に非常に均一な薄膜を堆積させます。電子ビームは、原料を電子るつぼに加熱し、電子ビームを起動して材料を基板に蒸発させることによって機能します。このビームは基板の1つの部分に集中して厚膜を堆積させることができ、またビームを複数の領域に広げてより均一なフィルムを生成することができます。このビームは、サブナノメートルからマイクロメーターまでの厚さのフィルムを製造することができます。ソース材料の温度は、高周波誘導によって加熱されるグラファイトサセプターによって制御されます。高周波誘導とサセプター加熱のこの組み合わせは、正確な温度制御と均一な蒸着を提供します。Producer GTには、チャンバーを避難させるための真空ユニットと基板を取り付けるためのベースプレートも含まれています。真空機械には、ターボポンプ、マフラー、および同軸避難用のアクティブな機械式ポンプが含まれています。これにより、フィルム蒸着のための望ましい雰囲気を維持するために、避難プロセスを正確に制御することができます。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTには、リーク検出用の高分解能質量分光計と、プロセス制御を強化するための冗長バックアップツールが装備されています。高分解能質量分析計は、プロセス全体の圧力を正確に測定し、プロセスの再現性を高めるように設計されています。AMAT Producer GTは、薄膜の成膜に精度と均一性を提供する高度で信頼性の高い熱蒸発器資産です。洗練された電子材料や部品の製造に最適です。
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