中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616132 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT
ID: 293616132
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2021
CVD System, 12" 2021 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、最大の前駆条件で最大の生産性を提供するように設計された先進的な原子炉です。この原子炉を使用することで、企業は簡単にフィルム堆積目標を達成することができます。AMAT Producer GTは、TFDプロセスのための革新的な生産プラットフォームです。アプライドマテリアルズプロデューサーGTは、平面マグネトロンスパッタリング蒸着技術を使用しています。この技術により、基板全体にわたって均一な蒸着速度が確保され、最大8つのウェハのシングルウェハ処理が可能になります。これにより、より高い蒸着率とフィルム品質が得られます。さらに、対称ポンプ構造により基板の温度勾配を防ぎ、歪みを最小限に抑え、均一性を向上させます。チャンバーは、高速ポンプダウン時間と高スループットを提供する2つの独立した2段ターボポンプを備えた円形の設計です。これは、複数の材料を含む最大4つのターゲットで動作し、また、原子炉の拡張バージョンで2つの追加のターゲットを処理することができます。磁気フィルターを使用することで、線や円弧を防ぎ、均一な蒸着速度を実現します。Producer GTのその他の機能には、リアルタイムプロセスモニタリングシステムがあり、プロセス品質を向上させるための迅速な調整が可能です。このシステムはまた、可能な限り最高のフィルム品質を提供するために、各基板の詳細なレシピを生成することができます。さらに、AutoLift機能を使用すると、視野を素早く簡単に変更できるため、リフト角度とターゲット角度を手動で調整するのに余分な時間が費やされません。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、薄膜蒸着プロセスに最適な、高いスループットとフィルム品質を提供するように設計された先進的な原子炉です。平面マグネトロンスパッタリング蒸着技術、2段式ターボポンプ、磁気フィルター、リアルタイムプロセスモニタリング機能により、ユーザーは簡単にフィルム蒸着操作を実行し、高品質な製品を生産することができます。
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