中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293616131 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、エッチングおよび薄膜蒸着に使用される反応性ガス充填管リアクター（RGR）です。反応ガス、温度、圧力、時間を正確に制御し、さまざまな薄膜沈着進化をプログラミングできます。このRGRは、半導体やオプトエレクトロニクスデバイスの処理に一般的に使用される薄膜成膜アプリケーションの範囲を実行するのに最適です。AMAT Producer GTのガス供給装置は、所望の圧力を維持しながら、複数のガス源の間で簡単かつ迅速に変化します。この機能により、ランニング間のプロセスガス交換に要する時間を短縮し、より高いスループットを実現します。その精度はまた、薄膜沈着の進化の全体的な性能を高めます。APPLIED MATERIALS Producer GTは、調整可能な周波数範囲が0〜600kHzのトリプル周波数リアクティブイオンエッチング（RIE）電流ソースと高出力（>200W）出力を備えています。この機能により、均一なプロファイルを持つ繊細な基板のエッチング速度を正確に制御できます。Producer GTの温度制御システムは、安全で一貫した動作温度を維持するように設計されています。必要に応じて自動的に動作温度を調整し、5-400Cの温度範囲に設定することができます。この温度範囲ガードは、薄膜成膜とエッチングの両方に信頼性の高い処理を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、エッチングと蒸着の電流および電圧設定を監視するクローズドループのフィードバックユニットを備えています。この機械は絶えず最適性能を維持するために設定を調節します。さらに、RGRには、必要に応じてエッチングチャンバーを開閉する自動シャッターツールが装備されています。これにより、アセットは孤立した大気中で動作し、大気条件の均一性と制御を向上させることができます。最後に、AMAT Producer GTは、チャンバの動作パラメータを監視する完全な安全モデルで設計されています。この装置は、危険なリリースを検出することにより、オペレータとデバイスの両方の安全性を保証します。偏差が発生した場合は、可聴アラームと視覚アラームを提供します。APPLIED MATERIALS Producer GTは全体的に、薄膜成膜およびエッチング用途を最適化するように設計された高性能の反応ガス充填チューブリアクターです。トリプル周波数リアクティブイオンエッチング（RIE）電流源、ガス監視システム、温度制御ユニット、クローズドループフィードバック機、自動シャッターツール、完全安全資産を備えています。Producer GTは、半導体および光電子デバイスを処理するための信頼性の高い正確なデバイスです。