中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293606162 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT (AMAT Producer GT)は、III-V化合物半導体材料の堆積用に設計された先進的な分子ビームエピタキシー装置です。このシステムは、さまざまなガス、プリカーソル、クラスタソースを備えた包括的で完全に自動化された構成を備えており、リアルタイムのプロセス制御をサポートしているため、高度なプロセス開発とクラス最高のデバイス製造に最適です。APPLIED MATERIALS Producer GTは、水平/垂直ジオメトリにフルウェーハプロセス機能を提供し、優れた均一性と滑らかなフィルムを1〜10マイクロメーターに沈殿させることができます。生産者GTリアクターは、高精度でリアルタイムのプロセス制御を備えており、あらゆる厚さの層の変更を容易にすることができます。高度な温度制御により、ユニットは複数のステップ温度ランプを実行し、前駆体材料が完全に混合され、噴霧され、効率的に加熱されることを保証することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTはまた、グラファイトサセプター設計を特徴とし、III-V材料を堆積するためのガス加熱フィラメントレスマシンを備えています。サセプターは迅速かつ均等に加熱され、広範な温度範囲を可能にし、アプリケーション固有の生産プロセスに最適なソリューションです。高度な温度制御に加えて、キセノンフラッシュランプとクォーツビューポートも備えており、単層および多層構造の優れた均一性とプロセス制御を提供します。AMAT Producer GTは、リモートアクセスとプロセス監視用のソフトウェアでさらに最適化されています。ユーザーインターフェイスは直感的で、迅速なセットアップとレシピ開発を可能にします。さらに、CMP機能を搭載し、成長後の変更や改善、最適なプロセス収率を確保するための粒子制御を可能にします。さらに、この資産は、安全性と環境衛生の最高水準を維持するように設計されています。自動パージモデルと窒素供給機能を備えており、処理中のef μ cientで信頼性の高い清浄度制御を提供します。要約すると、APPLIED MATERIALS Producer GTはIII-V化合物半導体材料の堆積のための理想的な分子ビームエピタキシー溶液です。これは、高度なプロセス要件を満たすように設計された、効率的で堅牢で柔軟性の高い機器です。
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