中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293600877 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、半導体デバイス製造に使用されるシングルウェーハ急速熱処理（RTP）装置です。このシステムは、高性能とスループットのために設計されており、複数のガスオプションと迅速なマルチサイクル温度プロファイルを提供する機能を備えています。RTPユニットは、石英チューブをプロセスチャンバーとして使用し、グラファイトサセプターを使用して電気式ハロゲンランプからウェーハに熱を輸送します。サセプターには、正確な温度制御と均一なガス供給を提供する熱電対およびガス噴射ノズルが装備されています。ガスの流れは分子ビームシールドを介して配信され、周囲の空気と水素、窒素、または他のプロセスガスの精密ミックスを提供するようにプログラムすることができます。AMAT Producer GTは裏面冷却機能も備えており、ウェーハの温度がクリティカルレベルを超えることはありません。また、プロセスチャンバーの裏側を監視し、ウェーハの過熱の可能性を検出するための高度な光学センシング技術を備えています。APPLIED MATERIALS Producer GTには、完全に統合された直感的なウェーハハンドリングマシンがあり、ウェーハが安全でエラーのない方法で水晶チューブに出入りすることを保証します。このツールは、サンプルロード/アンロードロボット、ウェハマッピングシステム、マルチゾーン予熱システムなど、さまざまなオプションで構成することもできます。さらに、Producer GTは幅広いプロセス温度と急速なサーマルエクスカーションをサポートしているため、高温プロセスのレシピと穏やかな処理の両方に最適です。また、サセプタプラットフォームの自動レベリングを提供して、ウェーハからサセプタリングまでの距離が厳密な許容範囲内に保持されるようにします。アセットには高度な監視と診断機能が搭載されており、プロセスエンジニアはプロセスレシピをリモートで監視し、環境とプロセスの結果を監視し、中央の場所からモデルを制御できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GTは、不活性ガスのパージ装置、過熱保護、停電時の自動シャットオフなどの安全機能も内蔵しています。全体として、AMAT Producer GTは堅牢で信頼性の高いシステムであり、半導体デバイスの製造に迅速かつ効率的なRTP処理ソリューションを提供します。それは最適性能および正確さのために設計され、急速な熱アニーリング、急速な熱酸化および浅い接合部の形成のような適用の範囲に適しています。