中古 AMAT / APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNA #9305827 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER GT ETERNAは、高スループットの高度なプロセスリアクターです。半導体ウェーハの製造に特化して設計されています。これは、急速なサーマルアニーリング（RTA）と酸化を適用する能力があり、ロープロファイルウェーハの温度制御と処理は信頼性が高いためです。AMAT PRODUCER GT ETERNAリアクターは、急速な熱アニーリング、酸化、拡散、誘電体の堆積などの用途に適した信頼性と本質的に安全なツールです。最適化された温度プロファイルを備えた誘電体の蒸着、化合物半導体の急速な熱アニーリング、低抵抗材料と高抵抗材料の両方の蒸着などの高度なプロセス能力を提供します。この原子炉は、ウェーハの高速酸化を行うポリシリコン先端プロセスチューブと、プロセスチューブなどを収容する生産室で構成されています。プロセス部屋は3つの回路から成っています：ゲート回路、高圧酸化回路およびアニール回路。ゲート回路はポリシリコン先端プロセスチューブの熱管理を担当しますが、高圧酸化回路は酸化反応の高度な制御性を提供し、アニール回路はフィルムの効率的な熱活性化を提供します。また、フローループ安全、過電圧保護、CTE（熱総合保護）などの統合安全対策も備えており、運転中の安全レベルをさらに向上させています。フローループ安全性は、原子炉内の圧力を監視し、一定のスレッショルドを超えると動作を停止します。過電圧プロテクションは、過剰な電圧が検出されたときにシステムを監視およびシャットダウンします。CTE（熱包括的保護）は、原子炉の特定の重要な部分の温度が許容範囲を超えたときにシステムを監視およびシャットダウンする機能です。アプライドマテリアルプロデューサーGT ETERNAは、世界中のすべての半導体工場で使用される信頼性の高い汎用性の高いツールです。これらの機能と強化されたプロセス制御を組み合わせることで、ウェーハの信頼性が向上し、歩留まりが向上して生産作業の歩留まりが向上します。高いスループット性能を誇るPRODUCER GT ETERNAリアクターは、品質を損なうことなく半導体生産の要求を満たすことができます。