中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Process kit for Endura 5500 #293656254 を販売中
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ID: 293656254
Part number / Description
0020-26312 / Shield upper, 8” Durasource TTN SST
0020-26288 / Shield lower 101, 8” Durasource TTN SST
0020-24914 / Cover ring SST, 8", 101 Coverage
0020-28937 / Cover, 8" Pedestal advanced 101
0020-27455 / Disk, 8", Advanced 101 Shutter
0020-08674 / Shield lower, ARC Spray SST SIP
0020-08673 / Shield inner, Al ARC Spray SST SIP
0020-08677 / Shield upper, Ground Al ARC Spray SST SIP
0020-08675 / Cover ring, 8", Al ARC Spray SST SIP
0040-01549 / Cover, 8", Pedestal B101 HTR S-IMP
0200-00998 / Pedestal ring 8", B101 AI ARC Spray ceramic
0240-26518 / Rest buttons ceramic B101
0021-22586 / Shutter disk, 8", B101
0020-23041 / Clamp, Shield, 8” Wafer
0020-21665 / Shield low, Knee AL/TI Process SST, 8” Wafer, 46" TRGT
0020-27702 / Clamp ring, 8”, SNNF, TI, 3.404 MM, 6 Pads, 10465A
0200-00221 / Insulator pinless, 8" SNNE, Preclean I
0020-27123 / Pedestal, PC II 8", SNNF
0020-26588 / Shield 8" PC II at C and D
0020-26967 / PC II Gas trench cover
0040-21178 / Preclean II.
Endura 5500 ReactorのAMATプロセスキットは、Endura 5500機器にとって不可欠なアクセサリーです。これには、ストリッピング、クリーニング、沈着、計測などのフォトレジストまたはエッチングプロセスでさまざまなステップを実行するための不可欠なツールとコンポーネントが含まれています。このプロセスキットには、ハンドリングロボット、避難用モジュール、ガス供給システム、多数のコンデンサ、およびその場の計測ユニットなどのアイテムが含まれています。ハンドリングロボットはEndura 5500リアクターの近くに配置することができ、ウェーハやカセットを原子炉室内と外側に移動させるために使用されます。この避難モジュールには、サンプル避難などのための避難用のチャンバーと、高速パージ速度を達成するための巨大なターボ分子ロータが装備されています。ガス供給機には、原子炉室に正しいガス圧力を供給するために、多くの精密なコントローラとバルブが組み込まれています。このコンデンサは、Endura 5500リアクターへの直接電気接続を容易にし、計測ツールを使用することで、製造工程で膜厚を自動測定することができます。付属のコンポーネントは、ユーザーが複数のフィルムスタックを実装できるように設計されており、Endura 5500プロセスの開発に必要なエンジニアリング時間を短縮します。プロセスキットを使用すると、レシピとターゲットサイクルをすばやく最適化し、各レシピのデータロギングと評価を実行できます。プロセスキットには、汚染のないEndura 5500コンポーネントの設置が可能なクリーンルームも含まれています。クリーンルームには、熱、電気、ガスラインを備えたステーションのグリッドと、特別なフィルターと送風機を含む2つのエアロックがあります。アセットには、接地モデルとイオン中和装置も含まれており、処理されたウェーハの充電を最小限に抑えます。このプロセスキットはEndura 5500システムにとって重要なコンポーネントであり、プロセスの再現性と信頼性を保証します。さまざまな複雑なプロセスに対応できる安全で効率的な作業環境を提供するように設計されています。
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