中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Preclean chambers for Endura CL #293633114 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL用プレクリーンチャンバーは、CVDプロセス（化学蒸着）用に設計された原子炉です。このチャンバーは、半導体製造に使用され、ローカライズされた領域に薄膜コーティングを堆積させることができる高品質のクリーンエリアを提供します。プレクリーンチャンバーは、プラズマ強化洗浄技術を使用して超清浄な基板表面を実現し、デリケートで保護性の高いコーティングを受ける準備ができています。このリアクターは、ステンレス製のチャンバーボディと取り外し可能なステンレススチールカバー、エアロックシールとバックベントを備えた水平シングルウェーハロードロックチャンバーを備えています。最大100リットルの内部容量と0〜150°Cの動作温度範囲を備えています。このチャンバには、統合された円筒形プロセス制御モジュール（PCM）があり、チャンバの上部のコントロールパネルに接続されているため、デジタル入出力やアナログ制御に簡単にアクセスできます。チャンバーのPCMには、高収率の前処理を実現するように設計されたいくつかのコンポーネントが装備されています。光放射モニター、プロセスコントローラ、プロセスガスモジュール、真空システムを備えています。これらのすべてのコンポーネントは、前処理に役立つチャンバー内の制御された雰囲気を作成するために一緒に動作するように設計されています。プレクリーンチャンバーは安全性を考慮して設計されています。圧力センサー、緊急遮断スイッチ、アラームシステムなど、いくつかの安全機能を備えています。また、メンテナンスやアップグレードも容易に行えるように設計されています。堅牢な設計で、過酷な化学物質に耐性があり、簡単に洗浄してサービスすることができます。結論として、AMAT Preclean Chamber for Endura CLは、CVDプロセスで使用するために設計された信頼性の高い堅牢な原子炉です。薄膜コーティングを施すことができる高品質のクリーンエリアを提供するように設計されています。このチャンバーには、高収率の前処理を実現するように設計されたいくつかのコンポーネントと、原子炉の安全な動作を確保するためのいくつかの安全機能が装備されています。この部屋は維持し、改善すること容易であるように設計されており、長期にわたる信頼できるサービスのための粗い化学薬品に対して抵抗力があります。