中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Precision 5000 #9154524 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Precision 5000は、DCおよびRFスパッタ加工の高精度と精度を提供するように設計された先端材料加工メーカーです。この原子炉は、これまでにないレベルの機器レベルの精度と再現性を提供します。この原子炉は、高度な材料の生産において最高レベルの生産品質が維持されるように地上から設計されています。このシステムには直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、材料科学者やエンジニアが高度な基板の生産に簡単にアクセス、制御、監視することができます。その強力で洗練された自動化されたプロセスは、プロセスチャンバーとその環境の正確な動作を制御します。これにより、原子炉は最も複雑で生産が困難な材料を生産することができます。このユニットは、生産プロセス全体にわたって正確なスパッタを確保するために、1ppm/° Cの最小熱流量と多数の温度および圧力センサを備えています。また、最大950°Cの温度制御範囲と最大1。0 torrの圧力制御範囲を備えています。原子炉の効率的なアーキテクチャにより、優れた材料沈着率が得られます。最大30の基板オプションとエンドポイントと均一な蒸着モードの両方を利用できるため、非常に薄いフィルム、マルチレイヤー、組み込み機能などの優れた均一性を備えた高度な基板を製造できます。このツールには、生産プロセスが正確に制御され最適化されていることを確認するために、さまざまな高度な監視ソリューションが付属しています。これらのモニタリングソリューションには、蒸着中のウェーハ温度を監視し、プロセスチャンバー内の電圧と電流を測定し、蒸着速度と材料組成を監視する機能が含まれます。AMAT Precision 5000は非常に高度で精密な材料炉です。洗練された設計、強力な自動化されたプロセス、および高精度の制御は高度材料の生産で最高レベルが維持されることを保障します。非常に高い蒸着率で幅広い材料を加工することができ、優れた均一性を持つ先進的な基板を製造します。リアルタイム監視機能により、研究者や材料科学者は生産プロセスを完全に制御できます。