中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000W #9132649 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000Wはプラズマエッチング炉です。これは、さまざまなプロセス材料で高度なデバイス機能をエッチングする機能を持っています。AMAT P5000Wは不活性ローダー/アンローダーを備えた汎用性の高いツールで、幅広いプロセスの柔軟性を提供します。APPLIED MATERIALS P5000Wは、最も要求の厳しいプロセスのニーズに応える、費用対効果の高い耐久性の高いツールとして設計されています。高オーム、低域バイアス構成により、精密な制御と再現性の高いプロセス性能を実現しています。プロセスチャンバーには、長さと幅の両方で最大8インチの基板を収容するための調整可能なプラットフォームがあります。また、2つのガスボックスには4つのRF、 3つの電子レンジ、および20のメッシュ可能なガスが含まれています。P5000Wは、シングルウエハアプリケーションとダブルウエハアプリケーションの両方で最大4つの独立したエッチング処理ツールをサポートし、3つのソースファラデーケージでプロセス制御と熱保護を強化します。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000W原子炉のプロセスチャンバーには、品質性能を確保するためにいくつかの環境および安全機能が装備されています。これらには、ベローズシール、圧力表示ガードリング、シャワーウォールが含まれます。比例積分誘導体（PID）制御ループとRFボックスとベースウエハの基本的な安全インターロックを備えた完全な温度制御システムを備えています。また、圧力、温度、およびプラズマ消費量を監視するユーザー設定可能な値の自己検査、自己診断インターロックシステムも備えています。AMAT P5000Wには中周波電源があり、反応イオンを高精度で信頼性の高い状態で供給することができます。この電源は、最大25MHzのマイクロ波周波数と最大2000WのRF電力が可能で、高速エッチング処理のための調整可能な設定が可能です。また、圧力、温度、およびプラズマ消費量を監視し、最適な性能を発揮するセンサを多数搭載しています。高い信頼性と性能を誇るAPPLIED MATERIALS P5000Wは、さまざまなエッチングおよび成膜プロセスに最適です。このツールは、最大8つのウエハプロセスを実行する能力を備え、小規模および大規模生産の両方の要件を満たすように設計されています。メンテナンスが容易で、あらゆるタイプのエッチングおよび蒸着プロセスで効率的な再現性と精度を提供します。