中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E #9093627 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000Eは、高性能PVD（物理蒸着）炉です。高出力、高温、高圧に対応するため、半導体業界での使用に最適です。これにより、フィルム、表面、材料のより効率的な生産プロセスが可能になります。AMAT P5000Eは容易な取付けおよび柔軟性のための拡張性がある、モジュール設計を特色にします。それは高度のカプセル封入、高い熱伝導性、障壁の層、相互接続および他のエッチングの塗布にとって理想的です。応用材料P5000 Eは、基板温度を最適化し、チャンバー全体の均質性を達成する環境システムを備えています。それは均一な温度および最適プラズマ配分を維持するのを助けるように2つの一致させた水晶天井板および4つの電極と設計されています。また、より効率的なガスの流れとより安全な操作のための石英ベルジャー、ウェーハの様々な部分に均一な膜の蒸着を確保するための可変回転率を備えています。さらに、APPLIED MATERIALTS P5000Eの石英ベルジャーは交換可能であり、寿命を延ばし、メンテナンスコストを削減します。AMAT P5000 EにはRFジェネレータも装備されており、均一性と再現性を確保するためのプロセスのより大きな制御を可能にします。その力は異なったプロセスのために調節可能で、高められた正確さおよび信頼性のためのガルバニックおよびDC動力を与えられた熱電対の技術を両方提供します。P5000Eには、プロセス情報を保存してリコールするためのランダムアクセスメモリ（RAM）が内蔵されており、機器の状態やパラメータを簡単かつ迅速に診断できます。安全性を高めるために、P5000 Eには、ドアのロックを解除し、緊急時には船舶圧力を解放する緊急ドアリリースが装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALTS P5000 Eには、洗い流して通気するための複数のポートがあり、耐腐食性材料と耐久性のある構造により、摩耗や破損に耐性があります。要するに、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000Eは、半導体業界のさまざまなエッチングおよびカプセル化アプリケーションに最適な汎用性と耐久性のあるPVDリアクタです。クォーツベルジャー、RFジェネレータ、熱電対技術などの先進的な部品を活用し、効率的で安全な操作ができるように設計されています。そのパワー調整可能な設定により、さまざまなプロセスに適しています。内蔵のRAMにより、迅速な診断と簡単なプロセスリコールが可能です。耐食性に優れた構造と調整可能な回転率により、AMAT P5000Eは優れたフィルム、表面、および材料沈着を保証します。