中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000E Chamber frame #293662777 を販売中
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ID: 293662777
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000Eリアクターは、エッチング、プラズマ、蒸着、マイクロエレクトロメカニカルシステムなどの幅広い用途に使用できる最先端の薄膜蒸着ツールです。AMAT P5000Eリアクタはデュアルエンド構成を使用し、完全に自動化されています。この設計は柔軟性を提供し、複数のプロセスオプションでさまざまなプロセスを実行できます。原子炉の主な構成要素は、電源、電源制御、真空装置、ガス供給システム、基板加熱、スパッタターゲットです。この電源は、ACまたはDCのいずれかの電源を供給することができ、0-1999Vバイアス電力の効果的な範囲を提供します。また、基板ホルダー用の自動温度制御ユニットを備えています。さらに、調整可能なガス圧力レギュレーションユニットが含まれています。応用材料P5000 Eの真空機械は、ターボ分子ポンプアセンブリと処理に必要な低真空を維持するためのクライオポンプで構成されています。ガス供給ツールには、供給されたガスの流れを設定するように調整されたマスフローコントローラが含まれており、最大15個のガスストリームを供給することができます。さらに、最大の光効率と薄膜の均一性を確保するように設計された光学エミッタを備えています。AMAT P5000 Eリアクターは、抵抗性、高周波、熱蒸発など、さまざまな基板加熱機能を備えているため、さまざまな薄膜蒸着手順に適しています。スパッタターゲットは調整可能で、堆積層の厚さの変化を可能にします。全体的に、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Eリアクターは、さまざまな薄膜成膜手順に適した多くの機能を備えた先進的なツールです。その高効率と柔軟性、自動化されたプロセスオプションとともに、さまざまなアプリケーションに最適なツールです。
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