中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9411333 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、強力なエッチングおよび蒸着反応器装置です。このマルチモジュール、生産スケールのエッチングと蒸着システムは、一連のエッチングと蒸着モジュールを組み合わせて、半導体基板の高品質のエッチングと蒸着を可能にします。AMAT P-5000の包括的な機能は、最も困難なプロセス要件に高度なマスキング、エッチング、沈着ソリューションを提供します。APPLIED MATERIALS P 5000には、いくつかのエッチングおよび成膜ツールと均一システムが装備されています。Autodepラインは、4つのAutodep VEPエッチングモジュールのセットを備えており、他のシステムに匹敵する高いエッチングスループットと反復可能なプロパティの均一性を提供します。Autodep VEPラインは、最大200mmのサイズのウェーハをエッチングすることができます。AMAT P5000はまた、最大1000mm²/minの一貫したスループットを実現する2つのMatchline II蒸着システムを備えています。自動ロード/アンロード機能とオンボードの安全機能により、高品質で高いスループット性能を実現します。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000には、オプティカル、ウェット、プラズマエッチングモジュールが用意されており、エッチングの均一性、歩留まりの向上、プロセスのターンアラウンドタイムの向上に最適化されています。このモジュールは、さまざまなプロセスチャンバーと均一性アナライザを備えており、エッチング、成膜、マスキング時のウェーハの迅速な最適化を可能にします。モジュールには高度なプロセスプログラムが付属しているため、効率的で再現性の高い半導体デバイス処理が可能です。そのエッチングと蒸着モジュールに加えて、P-5000には多くの生産指向のコンポーネントとツールが含まれています。これには、ハイスループットウェーハソートユニット、統合ウェーハトラックマシン、統合ウェーハ検査ツールが含まれます。すべてのコンポーネントは簡単な統合とセットアップのために設計されており、パフォーマンスを最大限に高めるための移行を可能にします。APPLIED MATERIALS P-5000はさらに、現場でのプロセス制御ソリューションを自動化しています。この統合されたプロセス制御スイートは、機械学習とリアルタイムのプロセス監視を組み合わせ、歩留まりとパフォーマンスを最適化します。要するに、AMAT P 5000は、最も困難な半導体デバイス処理要件を満たす機能と機能を備えた生産スケールのマルチモジュールエッチングおよび蒸着アセットです。その包括的な機能と、統合された生産指向のコンポーネントは、さまざまなプロセス要件に対して高い再現性と効率を実現します。