中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9395363 を販売中
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ID: 9395363
ヴィンテージ: 1996
SACVD System
(3) LH Chambers (A / B / C)
SPUT MKII (D)
Ozonator rack
AMAT0 HX
NESLAB HX300
(3) Ozone generator racks
TEOS:
DTLR
PLIS (A / B / C)
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、研究開発や工業生産に使用するために設計された汎用性の高い高性能リアクターです。AMAT P-5000のモジュール設計により、迅速な再構成が可能となり、さまざまなアプリケーション固有のタスクに使用できます。多種多様な気体、材料、前駆体を扱うことができるため、複雑な実験に取り組む人には最適です。APPLIED MATERIALS P 5000の印象的な仕様は、原子層成膜(ALD)、物理蒸着(PVD)、プラズマ強化化学蒸着(PECVD)、遠隔プラズマおよび直接液体注入源などのアプリケーションに最適です。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、幅1000mm、高さ750mmの標準ベース構成で、高真空マニホールドを内蔵しています。さらに、P 5000は、高解像度の膜厚監視装置や幅広い前駆体を備えた革新的なガス制御システムなど、幅広い機能を備えています。P5000の堅牢な加工設計により、圧力、流量、温度、居住時間などのパラメータを正確に制御およびチューニングできます。これにより、蒸着膜の均一性や精度、デバイス性能やウェーハ歩留まりを向上させるための接着性、高い選択性などの最適なフィルム特性を確保し、効率を高めることができます。APPLIED MATERIALS P-5000は、ガス漏れからの保護を提供する複数の層のデバイス、AMATによる密接な監視、および危険なイベントや警報を検出する複数の安全装置を含む、高度な安全および環境プロトコルを備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、最適化されたユニットと低消費電力のため、エネルギー集約プロセスを含むアプリケーションに最適です。さらに、APPLIED MATERIALS P5000は、リアルタイムの原料圧力、速度、温度を監視し、最大のプロセス精度を確保できる高速データ収集機を備えています。結論として、AMAT P5000は、複雑な研究および生産アプリケーションに最適な強力で高性能な原子炉です。モジュラー設計、正確な制御、堅牢な安全プロトコル、および印象的なエネルギー効率は、安全性や効率を損なうことなく最適な性能を達成しようとする研究者やメーカーにとって優れた選択肢です。
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