中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9389401 を販売中
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ID: 9389401
ウェーハサイズ: 6"
CVD System, 6"
SV21 SBC Board
Main frame type: Mark-II
Cassette indexer, 6" Clamp
8 Slots elevator
(2) CRT Monitor
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Centerfinder: USE
Cap wafer sensor
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
EMO Option: Turn to rekease
EMO Button guardrings
Status light tower (Color / Position): Red, Yelow, Green, Blue
Signal cable: 25'
Flash hard disk drive
Floppy: 3.5" SCSI Driver
Gas panel: 12 Channels standard / Minicontroller
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-02
Chamber B: OEM12B-02
Chamber C: OEM12B-07
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
(3) Matchers
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: UFC-1660
Manual valve: NUPRO
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、プロセス性能を向上させ、デバイスの信頼性を監視するために半導体業界で使用される高品質で信頼性の高いツールです。このタイプの原子炉は、通常、イオン源、プロセスチャンバー、電子銃で構成されています。イオン源は、ワーク表面に材料を堆積させるために使用される制御プラズマを生成するために使用されます。プロセスチャンバーは、プラズマが所望のプロセス条件に変更される反応チャンバーとして機能します。これは、ガスの流れ、圧力、電力、およびその他のパラメータを制御することによって達成されます。電子銃は、処理される物質の表面を物理的に修正するために使用される電子の強力なビームです。AMAT P-5000炉の主な特徴は、精密かつ再現性のある処理結果を提供する能力と、敏感なプロセス監視を実行する能力です。このタイプのリアクタは、マルチチャネルのフィードバックシステムと高度なオートメーションソフトウェアを使用して、一貫した再現性のある結果を保証します。このタイプの原子炉には、コンポーネントの状態を監視する高度な診断システムもあり、リソースのより効率的な使用を可能にします。応用材料P 5000リアクターは比較的コンパクトで堅牢で、過酷な環境での使用に最適です。また、統合された診断システムがあり、プロセス全体でデータを監視および記録し、効率的な操作、トラブルシューティング、メンテナンスを可能にします。さらに、このユニットは安全な作業環境を提供し、偶発的な過熱やパワーシャットダウンを防止および監視する安全機能を備えています。P5000炉は半導体業界の様々な用途に適しており、成膜およびエッチング工程でよく使用されます。高分子、セラミックス、金属、化合物半導体など様々な材料に適しています。さらに、イオン注入、PECVD、スパッタリング、各種化学エッチングなど、幅広いプロセスに使用できます。結論として、アプライドマテリアルズP5000リアクターは、プロセス性能を向上させ、より正確なモニタリングを可能にするために半導体業界で使用される高度で信頼性の高い精密なツールです。さまざまなアプリケーションに最適な機能を備えており、正確かつ再現性のある結果、正確な監視、安全な作業環境での堅牢な動作を提供します。半導体業界の精密加工に最適です。
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