中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377274 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、幅広いプロセスおよび統合要件において優れた性能を提供するように設計された高度なイオン注入装置です。最先端のイオンソース技術を活用したAMAT P-5000炉は、1時間あたり最大500ウェーハのプロセス速度を提供し、今日の市場で最も高速な蒸着システムの1つです。このシステムは、高度なプレプラズマおよびポストプラズマ制御を使用して、ユーザーが特定のニーズに合わせてインプラント工程を調整することができます。これにより、ユーザーはすべての生産条件に合わせてインプラント処理を最適化できます。プレプラズマ最適化により、ウェーハ全体でイオンエネルギーの均一性が向上し、着床時のプロセス制御が向上します。一方、ポストプラズマ相は、異なるデバイス構造に合わせてプロセスを調整し、制御と信頼性をさらに向上させることができます。APPLIED MATERIALS P 5000には、簡単で信頼性の高い操作のための制御インターフェイスが内蔵されています。これにより、必要に応じてパラメータを調整でき、より効率的なインプラント処理が可能になります。組み込みのエンドポイント監視機能により、ステップアンドリピートプログラムやその他の主要パラメータをすばやく変更でき、サイクルタイムを短縮してプロセスの生産性を最大化できます。AMAT P5000は、優れたフィルム品質を確保するために、クローズドエンドの低ガス負荷炉を使用して真空を維持しています。これにより、基板中の粒子や不純物の数を減らし、高品質のフィルムを形成します。これは、イオンの均一かつ標的移植を提供する組み込みコリメーションユニットによってさらに強化されています。最後に、P-5000は高度なアナログおよびデジタルフィードバックシステムを利用して設計されており、プロセス制御とカスタマイズを改善できます。例えば、ユーザーは合計インプラント率とスイープ幅を調整できます。これにより、プロセスバリエーションの処理が容易になり、プロセスの精度と制御がさらに向上します。アプライドマテリアルズP-5000は、優れた性能と機能を誇る強力で信頼性の高い機械です。AMAT P 5000は、高度なイオンソース技術、プレプラズマおよびポストプラズマ最適化、組み込み制御インターフェースなどの機能を通じて、イオンインプラントのプロセスに対する合理化されたアプローチをユーザーに提供し、生産性、歩留まり、再現性を向上させます。