中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377267 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9377267
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
TEOS CVD Systems, 8" 1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、誘導結合型の高密度プラズマリアクターで、薄膜の高度な成膜とエッチングのための精密な加工制御と性能を提供するように設計されています。高い蒸着率と優れた均一性を実現するAMAT P-5000は、半導体およびデータ記憶装置の製造に最適です。APPLIED MATERIALS P 5000は、高度なプラズマ加工技術を活用し、優れた成膜とエッチング性能を実現しています。この原子炉には、プラズマ発生源と、プラズマ特性を正確に制御できる高度な電源供給システムが装備されています。これにより、膜厚、純度、および堆積およびエッチング可能な材料の組み合わせを正確に制御できます。APPLIED MATERIALS P5000は、in-situドーピングの高密度プラズマ動作を維持し、反応性イオンエッチングプロセスを生成し、均一で精密なプロセス制御を提供することも可能です。さらに、AMAT P 5000は、大量生産に最適な幅広い製品強化機能を備えています。これらには、高度な基板熱管理、プロセス沈着条件の正確な制御、プラズマ特性の均一性によるプロセス再現性の向上が含まれます。さらに、P 5000には、正確な基板処理と精度を保証するロボットロードロックとアライメントシステムが装備されています。AMAT P5000は堅牢で信頼性の高い原子炉であり、高度な薄膜蒸着およびエッチングに高い蒸着速度と優れた均一性を提供するための正確な制御パラメータを提供することができます。最先端のプラズマ加工技術により、膜厚、純度、エッチング可能な材料の組み合わせを正確に制御し、幅広い製品強化により、大量生産に最適です。
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