中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377266 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、材料改質および薄膜蒸着に使用される先進的なプラズマ処理装置です。このシステムは、円柱形状のプロセスチャンバーを備えており、プラズマ処理の効率を確保しながら、観察領域を最大化します。プロセスの安全性を確保するため、AMAT P-5000には完全な金属閉鎖機構とエラストマーシールを備えた密閉チャンバーがあります。このユニットは、金属、誘電体、シリコン、有機物などの材料からカスタマイズされたパターン構造を作成することができ、薄膜の堆積に最適です。アプライドマテリアルズP 5000は、ウェーハレベルの加工にも使用され、高精度、高精度、低粒子汚染を可能にします。このマシンには、プロセスガスを駆動するための電源、DCおよびRFバイアス用の高圧電源、プロセスガスを制御するためのマスフローコントローラなど、いくつかのサブシステムが搭載されています。冷却ツールは、資産の温度とチャンバー環境を維持するのにも役立ちます。精度と性能を確保するために、P5000は高度なオンウェーハメトロロジーモデルを利用しています。モジュール設計により、ウェーハ、基板、薄膜を高精度で測定することができます。このシステムは、高度な位相シフト干渉計とさまざまなサンプルスキャンオプションを備えています。APPLIED MATERIALS P-5000は、ガスのろ過、フラッシュモニタリング、遠隔監視システムなど、複数の安全性と環境機能も備えています。外的な冷却はまた汚染を防ぐことによってプロセス安全を保障するのを助けます。さらに、このユニットは、ターボ分子ポンプやクライオポンプなどの複数の真空ポンプとパージ機能をサポートしています。P-5000原子炉は、薄膜やその他の構造物の様々な材料を処理するための高度で信頼性の高い原子炉です。比類のないレベルの精度と安全性を備えたこのマシンは、幅広い業界での使用に最適です。