中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9373099 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、市販の高容量UHV炉で、さまざまな超高温プロセスでの使用を想定して設計されています。この装置は、優れた清浄度と温度の均一性を提供するとともに、高レベルのスループットと生産性を提供するように設計されています。ステンレススチール製で、ユーザーが選んだ様々な仕上げが施されています。このシステムは、高性能のウォータージェット支援蒸着ユニットを備えており、均一で再現可能な蒸着プロセス制御のための効率的なエネルギー入力と基板加熱を提供します。このマシンはまた、高速スキャンとフルパルスプラズマ励起機能を提供しています。ツールの中心には、超高真空、高性能の原子炉室があります。このチャンバーは、超高真空環境に長いポンピングサイクルを提供するように設計されており、スパッタリング、高温蒸発、および他のいくつかの化学蒸着プロセスなどの幅広い超高温度プロセスを可能にします。AMAT P-5000の高温、均一性、モジュール性により、1つの資産で幅広いプロセスパラメータと材料をテストすることができます。アプライドマテリアルズP 5000モデルには、先進的なマテリアルハンドリングとポジショニングシステムも装備されています。ウェーハ位置決め装置と部品操作に使用できるロボットアームを備えており、どちらも3つの軸全てで動作することができます。このシステムには、正確な部品位置決めとポイントツーポイントモーションのための線形ステージと、正確な部品位置決めのための3次元エンコーダも含まれています。このユニットは、チャンバーへの部品の効率的で再現性の高いローディングとアンロードを可能にし、ユーザーが所望のプロセス結果を達成することができます。P5000マシンは、コンフォーマル成膜やエッチング処理など、さまざまなプロセスレシピをサポートするように設計されています。安定した高温環境と調整可能なガス供給ツールにより、さまざまな用途に適しています。この資産には、プロセスチャンバーの現場監視や、堆積膜の放出などの統合されたプロセスモニタリングツールも組み込まれています。統合されたインプロセスモニタリングモデルは、リアルタイムプロセスフィードバックを提供し、生産歩留まりと品質を向上させるためにタイムリーな調整を行うことができます。AMAT P 5000 Reactorは、幅広い蒸着およびエッチング処理のための最適化された生産性の高いプロセスプラットフォームを探しているユーザーにとって理想的な選択肢です。効率的なエネルギー入力、高温均一性、統合されたプロセス制御機能を組み合わせることで、効率的で再現性のある生産運転に最適です。そのユーザーフレンドリーな設計は、経験の浅いユーザーでも、最大のプロセス歩留まりを達成するために機器を素早くセットアップして実行できることを意味します。