中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9356942 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、様々な用途のための薄膜および材料の堆積のための高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）装置です。このシステムは、マイクロ波プラズマ源と水冷シャワーヘッドプレートを使用して、ポリシリコン、窒化ケイ素、酸化ケイ素などの均一で適合した膜を正確な厚さ制御で生成します。AMAT P-5000は、遠隔のマイクロ波発電機と独自のAdvanced Energy Delivery Unit （AEDS）を使用して、PECVDチャンバーへの電力、圧力、ガス供給を正確に制御します。マイクロ波源は2。45GHz〜2。75GHzの広い周波数で構成されており、最適な成膜条件を得ることができます。AEDSは、マイクロ波パワー、RFパワー、ガスの流れを正確かつ一定に保つように設計されています。応用材料P 5000リアクター自体は石英チャンバーであり、広い面積で優れた均一性を提供します。プロセスチャンバーは、完全なエンクロージャと自動チューニングマシンを備えており、正確な圧力、温度、RFマッチングを保証します。P 5000は、直径8インチ、厚さ1/2インチまでの基板に対応する大型フラットサンプルホルダーも備えています。プロセス時間はAPPLIED MATERIALS P-5000ツールソフトウェアによって制御され、成膜速度、ガスの流れ、圧力、温度を正確に制御できます。AMAT P5000は、低温および高温蒸着プロセスの幅広い用途に適しています。ポリシリコン、窒化ケイ素、酸化ケイ素などの薄膜を製造し、半導体デバイスの製造に使用することができます。その精密な制御と均一性は、高品質で信頼性の高い性能のために非常にコンフォーマルで非常に滑らかな薄膜を生成します。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、研究開発、プロセス開発、生産用途に最適なツールです。