中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9311437 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、誘電体、バリアコーティング、窒化物などのカスタムフィルムの大面積の蒸着に使用される高度なプラズマ強化化学蒸着装置（PECVD）です。このシステムは、最大1370 cm2の領域にフィルムを堆積させるために使用することができ、複雑な大面積の堆積プロセスを可能にします。高いスループット、均一なフィルム、高品質の結果をユーザーに提供するように設計されています。このユニットは、無線周波数、マイクロ波、およびホットフィラメント技術を使用して、原子炉室内の制御可能な励起分子を使用し、10nm〜500nmの厚さの薄膜を形成するために使用できるプラズマ環境を作り出します。AMAT P-5000のプラズマ源を使用して、プラズマの密度を安全かつ効率的に変調し、最適な性能を得ることができます。機械には、圧力および温度制御を含む高度なプロセス制御機能、および自動テストおよびチューニング機能が装備されています。また、高速成膜ツールであり、迅速な速度と成膜均一性の制御を提供します。APPLIED MATERIALS P 5000は、1つのプロセスから別のプロセスへの自動スイッチオーバーなどのさまざまなオートメーション機能や、圧力、温度、プロセスパラメータをリアルタイムで自動調整する可能性も備えています。アセットは非常に適応性が高く、これらの限られたPECVDプロセスを超えて、さまざまなフィルム成長プロセスを処理することができます。これには、機能性フィルムの処理、接触充填、誘電性パッシベーション、バリア層、およびその他のプロセスが含まれます。また、高分子加工に最適な条件を提供し、高精度なパターニングプロセスにより、フレキシブルで剛性の高いパネルなどの大面積の基板を投入することができます。安全性と信頼性の観点から、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、機器のセンサーを介して積極的に監視され、これらのパラメータのいずれかが設定限界を超えた場合、自動通知でリアルタイムにプロセスパラメータとデバイスの健康状態を監視することができます。また、メンテナンスを短縮して稼働するように設計されており、中央のクリーニングステーションはコストを最小限に抑え、稼働時間を増加させます。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 UV/VPEユニットはセットアップと使用が簡単です。直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーはマシンを監視、制御、操作する方法をすばやく理解することができ、すべてのユーザーにとって信頼性が高く費用対効果の高いツールとなります。