中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9308754 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、主に半導体材料の処理に使用されるAMATリアクターの一種です。化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）、物理蒸着（PVD）など、さまざまな用途に使用できるハイテク機器です。AMAT P-5000は200°Cまでの温度で材料を処理することができます。アプライドマテリアルズP 5000は、シングルウェーハ、高スループット、バッチ式のリアクタです。原子炉室は、独立して加熱または冷却することができる6つの熱絶縁ゾーンで設計されています。これは、チャンバー全体に均一な熱分布を可能にするのに役立ちます。このチャンバーには、4ガスホッパー、高度な圧力制御装置、電気光学ビューポート、および差動ガスフロー構成も装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、特許取得済みの独自のコールドウォール構成により、低温での高スループット処理を可能にします。また、オプションの電子ビーム加熱技術を備えており、優れた熱均一性で高温処理を可能にします。AMAT P 5000には「QSBW （Quartz Spacers Between Wafers）」モードも搭載されており、均一性を高め、粒子形成を低減します。さらに、P-5000は、大規模なバッチサイズのロードとアンロードのための統合ロードロックシステムでカスタマイズすることができます。このユニットには、真空絶縁ハンドリングアームと自動RF/DCプラズマソースも装備しています。AMAT P5000には、チャンバー全体およびウェーハレベルで均一な冷却を提供するように設計されたクローズドホットプラットフォーム（CHP）冷却マニホールドもあります。アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS） P5000は、マイクロおよびナノスケール上での材料加工に自動化された自己監視プロセスを提供する汎用性と信頼性の高い原子炉機械です。これは、薄膜や膜から複雑な構造まで、さまざまなタイプのCVDアプリケーションにとって信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。