中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9308001 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、主に高性能マイクロプロセッサおよび集積回路（IC）の製造に使用される汎用性の高い半導体基板加工ツールです。この装置は、ハイスループット動作用に設計されており、高度なウェーハハンドリングサブシステムにより、迅速なロードとアンロードが可能になり、高スループットを実現します。このシステムは、原子炉室、トランジションチャンバー、エッジ終了チャンバ、および個別の基板供給ユニットなど、さまざまなモジュールで構成されています。リアクター室は機械の主成分であり、プロセス中に加熱と冷却のためにウェーハを処理面に移動させる回転ホイールを備えた独自のプロセスチャンバーを収容しています。トランジションチャンバーは、最終製品の製造に使用されるエッチング、CMP、およびその他のプロセスモジュールを収容するウェーハとエッジエキジティングチャンバーの間のインタフェースとして機能します。AMAT P-5000ツールは、高真空と超高真空の両方の技術を使用して、制御基板処理に必要な環境を作成します。プロセス室内では、基板を850°Cまでの温度にさらすことができ、圧力は10-8 torrまで低くなります。プロセスチャンバーには、エッチングアセット、スピンコーティングモデル、CPL （Chemically Vapor Deposited）装置、フォトレジストシステムが装備されており、すべての基板加工機能を完全に可能にしています。画像処理ユニットは、プロセス部品の機能を制御するための基板表面に関する情報を提供します。一方、エッジエクステイティングチャンバーには、エンドプロセスの品質と均一性を制御するさまざまなセンサーとスキャナが装備されています。APPLIED MATERIALTS P 5000ユニットは、現代の半導体生産ラインの重要なコンポーネントであり、次世代製品の作成に一貫した信頼性の高いプラットフォームを提供します。生産コストを削減し、スループットを向上させ、効率的かつ効果的な生産を可能にするように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、その高度な技術により、最高品質の材料と精度で製品を一貫して生産することができます。