中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9294469 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体および高度なオプトエレクトロニクスデバイス製造に使用される完全なデュアルウェハ、パラレルプレートリアクター装置です。そのプラットフォームは高度に構成可能であり、複数のプロセスステップを同時に精度と制御することができます。AMAT P-5000はいくつかの主要コンポーネントで構成されています。物理パッケージ、またはPCBは、システムのメインプロセッサであり、他のすべてのコンポーネントとプロセスパラメータの制御を提供します。これには、統合されたガス混合制御ユニット、温度および圧力センサー、およびコールドトラップ付きの真空機が含まれます。アプライドマテリアルズP 5000は、チャンバーの両側に2つの対称静電板または電極を配置した平行プレート原子炉設計を使用しています。この設計により、より高い処理効率、より低いプロセス圧力、および反応性ガスのより良い閉じ込めが可能になります。プレートは、グラファイト、セラミック、金属などの材料から製造されています。基板がプレートの間に配置されるため、プロセスチャンバの温度および/または圧力をPCBによって調整された空気またはガス混合物で調整して、目的の材料の成長率を操作することができます。APPLIED MATERIALS P-5000は、RFエネルギーを利用してリアクタントガスのイオン化を支援し、薄膜蒸着に貢献します。電極へのRF電力は、さまざまな条件下で材料の成長を調べるために変調することができます。アプライドマテリアルズP5000は、統合された計測機能も提供します。材料の最薄層を測定する複数の光検出ツールを装備しています。これらのツールは、サンプルを通過する光の干渉を検出するだけでなく、堆積層の厚さとサンプルの表面積を測定することができます。これは露出層の特性評価や光学性能測定に非常に役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、半導体および光電子デバイスの製造に厳しく制御されたプロセス環境を提供する非常に効率的なリアクタツールです。統合されたプロセス制御、モジュラーリアクター設計、および計測機能の組み合わせにより、P-5000は高度なデバイス製造者のための強力なツールです。