中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9292243 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、半導体産業で使用される高性能再酸化ツールです。これは、今日の集積回路の設計と性能を向上させるために特別に設計されており、アルミニウムフィルムと誘電フィルムを再酸化するために使用されます。AMAT P-5000は、繰り返し可能で信頼性の高い酸化プロセスを提供し、サイクル時間の短縮、スループットの向上、コストの削減を実現します。アプライドマテリアルズP 5000は業界最先端の再酸化技術であり、強力なハードウェア、プロセス、ソフトウェア技術を含むユニークで洗練されたアーキテクチャを備えています。AMAT P5000炉のハードウェアには、高温炭化ケイ素サセプターと炉、活性材料を供給する蒸発源、ガードガス付き石英スプリットチューブ、プロセスガス供給システムが含まれています。これらのすべてのコンポーネントは、最適化された酸化プロセスを提供するために一緒に来る。P5000のプロセス制御ソフトウェアを使用すると、リアルタイムの実験を実行してプロセスパラメータを最適化し、温度と流量を制御し、チャンバー内の化学環境を調節できます。ソフトウェアには運動制御とプロセス制御の両方の機能が含まれており、ユーザーは酸化プロセスを究極的に制御できます。アプライドマテリアルズP5000は、AMATの洗練されたプロセス制御技術を使用しています。この技術は、チャンバーに配信されるフィルムごとに4つの温度ゾーンを備えています。これにより、正確で反復可能な酸化プロセスを各走行で確実に行うことができます。さらに、このシステムの「ターボモード」により、プロセス過渡時の酸素電源のサージが可能になります。これにより、ウェーハ全体でより均一な酸化プロファイルが得られ、歩留まりが向上します。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、アルミニウムフィルムや誘電体に電極を正確かつ正確に適用するための理想的なツールです。精密かつ再現可能な酸化プロセスを提供することができ、サイクル時間の短縮、スループットの向上、コストの削減につながります。このシステムはAPPLIED MATERIALSの強力なプロセス制御ソフトウェアによってサポートされており、ユーザーは酸化プロセスを究極的に制御できます。