中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9291961 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、ガスまたは液体のいずれかで利用可能なフルウェーハバッチリアクターです。この原子炉には独自の機能があり、幅広い処理能力を提供することができます。AMAT P-5000は、最大3ゾーンのプロセスガスを備えた5ゾーンの温度制御装置を備えており、そのうちの1つは窒素希釈を提供することができます。この原子炉は、直感的で使いやすいインターフェースを提供する高度な制御システムと、最適化された一貫性のある結果を得るための包括的なプロセスパラメータによって制御されます。応用材料P 5000は大きい鋼鉄機械利点および速いクラムシェルのアクセスと設計されています。これにより、ユニットのセットアップとメンテナンスに必要な時間が短縮されます。さらに、機械の高さと幅は、特定のプロセス要件に合わせて調整できます。100mm、 200mm、 300mm、 450mmの半導体ウェーハなど、いくつかの基板構成に対応できます。これにより、P 5000はエピタキシャル成長、化学蒸着、原子層蒸着など、幅広い用途に適したツールとなります。AMAT P5000リアクターは、5ゾーン、マイクロプロセッサ制御、温度制御ツールで設計されています。この資産は室温から900°Cに及ぶ温度の精密な制御を可能にします。さらに、ホットゾーン温度の均一性と安定性は、個々の要件に合わせて調整することができます。ガス供給モデルは、4つの独立したガス源、断面積マスフローコントローラおよびレギュレータで構成され、精度と信頼性を提供します。液体供給装置は、調整可能な温度、圧力、流量で動作し、液体スラリーを正確に制御するだけでなく、ラミネーション用途にも対応します。さらに、リアクタP-5000高度なコントローラと直感的なユーザーインターフェイスを備えています。コントローラは、現在のプロセスパラメータに関する情報と、プロセスの開発に関するインスタントフィードバックを提供します。さらに、ユーザーの権限は、システムのアクセスと制御を確保するためにパスワードを保護することができます。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALIES P 5000は、既存の生産ラインに簡単にインストールおよび統合できる洗練されたコンパクトなデザインです。これらの機能のすべては、アプライドマテリアルズP5000非常に汎用性と信頼性の高いバッチ炉になります。