中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9279197 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、さまざまな電子デバイス構造の精密製造を可能にする高性能、クローズドループ、万能プラズマリアクター装置です。このツールは、今日の高精度、高信頼性アプリケーションの厳しい要件を満たすために必要な柔軟性、速度、精度、およびプロセス制御を提供します。AMAT P-5000炉は、堅牢な処理環境とAr、 O2、 H2、 N2、 Heなどの幅広い互換性のあるプロセスガスを備えた自己完結型システムです。また、完全にアップグレード可能でカスタマイズ可能であり、薄膜エッチングおよび成膜からドーピング、化学/機械研磨、化学蒸着まで幅広い用途を可能にします。応用材料P 5000リアクターは、基板電極ボルトと加工チャンバーの2つの主要部品で構成されています。基板電極ボルトは、最適なプロセス歩留まりを確保するために基板ローディングとアンロード技術を使用して歩留まりを最適化するように設計されています。加工チャンバーには、主要なプラズマ、散乱、エッチングのハードウェアが含まれており、精密なアプリケーションに必要なタイトなプロセス制御を可能にします。P-5000原子炉は、エネルギー効率、低排出量、残留ハザード緩和など、さまざまな安全性、健康および環境機能を備えて設計されています。また、全体的な運用コストが低く、メンテナンスも低くなっています。APPLIED MATERIALS P5000リアクターの制御ユニットは、精密なプロセス制御を保証するように設計されており、使いやすいグラフィカルインターフェイス、マルチパラメータプロセスチューニングおよび最適化パラメータを提供します。高精度のデジタルマスフローコントローラ、内蔵圧力コントローラ、内蔵温度測定ツールなど、幅広い先進技術を搭載しています。AMAT P 5000リアクターは、超薄膜エッチングや成膜から高精度ドーピング、研磨、化学蒸着まで、さまざまなマイクロエレクトロニクス装置構造に最適なツールです。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、包括的なプロセス制御、高度な技術機能、低メンテナンス操作により、精密製造に最適なツールです。