中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9276777 を販売中

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ID: 9276777
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1992
CVD System, 6" Moving type: Transfer robot Non-SMIF type Main body AC Rack (2) Trans Monitor rack Heat exchanger Generator rack Mini controller LF Rack Gas cabinet Chamber A and B: CVD Chamber D: Mark II Robot Signal tower (3) RF Generators (3) RF Matchers Cassette module: Normal (3) Heater controllers: Chamber A, B and D Missing parts: Fan board Pneumatic valve Match bracket Mini controller connector damaged Power supply: 208 VAC, 180 A, 3 Phase (WYE), 50/60 Hz 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、均一で効率的な高品質な材料の成膜を可能にするために開発された次世代の成膜ツールです。この特殊蒸着装置は、様々な電子デバイスを研究し、製造するために設計されています。トランジスタ製造、MEMS、半導体、高度なパッケージングなど、さまざまな用途に適しています。AMAT P-5000は柔軟なPECVDチャンバーを使用しており、さまざまな処理温度と設定で機能するように設計されています。これにより、特定の材料を加工する際に、パフォーマンスを向上させることができます。チャンバー内部は、底面と上面が平らなステンレス製の円筒形で構成されています。チャンバーに接続されているのは、蒸着源として機能する短い同軸ラインです。多種多様な材料の均一な蒸着速度を確保するために、APPLIED MATERIALS P 5000には堅牢な線形蒸着制御システムが搭載されています。この統合された機能は、反応性ガス注入と応用バイアスを組み合わせており、ガス流量や電力密度などのパラメータを正確に制御できます。このレベルの制御により、多層構造やその他の複雑なアーキテクチャを正確に作成できます。また、金属絶縁金属(MIM)、有機金属、金属有機フレームワークなどの先端材料の低エネルギー蒸着を可能にするように設計されてP-5000ます。この費用対効果の高いユニットは、光検出器や太陽電池などの光電子デバイスの製造に特に適しています。適用材料P-5000は適用範囲が広い内部および制御機械を越えて安定した結果のための優秀な温度調整を提供します。デュアルゾーンの水冷工具を搭載しており、チャンバーと個々の基板を正確に熱制御できます。このレベルの温度制御により、高度な処理と再現性のある結果が得られます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、幅広い適用可能な材料で高性能な結果を提供できる画期的な蒸着資産です。デュアルゾーンの水冷装置を活用した高度な蒸着制御モデルは、複雑な構造を処理する際の再現性と安定性を向上させます。その結果、アプライドマテリアルズP5000は、研究開発および最先端の製造における多様な用途に適しています。
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