中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9266344 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、高密度プラズマエッチングおよび成膜に使用される原子炉です。高密度プラズマエッチング、ハイスループット、および非常に低い消費電力でのウェーハ処理の均一性を提供するように設計されています。高圧真空チャンバーを備えており、高密度プラズマの伝達効率が向上し、ガス流量の増加と電子雲の密度の向上による均一性が向上します。幅広い圧力と温度でプラズマを発生させることができ、エッチング工程を精密に制御して表面品質を向上させ、歩留まりを向上させることができます。AMAT P-5000炉は、自動ガス混合装置、誘導結合プラズマ源、イオン源、イオン源、高電圧発電機を含む一連のコンポーネントで構成されています。自動ガス混合システムにより、圧力、温度、濃度などのプラズマパラメータを正確かつ正確に制御できます。誘導結合されたプラズマ源はエッチング用の高密度プラズマを提供し、イオン源はプラズマのエネルギーを制御するために使用されます。さらに、高電圧発電機は、一貫した結果を得るために正確なエネルギーレベルを提供するために使用されます。APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、性能を最大化し、汚染レベルを低減するように設計されたクローズドループガスコントロールユニットを備えています。複数の独立したマスフローコントローラ、温度安定性、センサーフィードバック、クローズドループのガス制御を備えており、幅広い基板サイズで正確なガス供給と均一なエッチングを保証します。原子炉P5000また、負圧封じ込め機や真空シール工具などの複数の封じ込め技術を備えており、汚染を最小限に抑えています。さらに、AMAT P 5000リアクターには、精密エッチングモデルと連携して、正確かつ再現性のある結果を保証する独自の材料処理資産が含まれています。全体的なP 5000は、優れた均一性と歩留まりの結果を持つ精密で精密なエッチング処理のための高性能で費用対効果の高い原子炉です。APPLIED MATERIALS P-5000は、高度な機能と自動制御システムを備え、高度な高密度プラズマエッチング用途に最適なソリューションです。