中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9262471 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、集積回路製造に使用される高度なプラズマ加工ツールです。これは、均一な特性を持つ高密度、超低温、金属ナノパターンを生成するために設計されています。その機能には、in-situ diagnosticsシステムと、プラズマ処理の再現性と信頼性を保証する自動無線周波数ジェネレータが含まれます。さらに、先進的な設計により、電極と基板面積のアスペクト比が極めて高く、製品の品質を最適化します。AMAT P-5000原子炉はイオン源、イオナイザー、基板で構成されています。イオン源は、プラズマを収容し、マイクロ波エネルギーによって駆動されるセラミックチャンバーです。イオナイザーは、ガス分子を正と負のイオンに分解するために非常に強い電場を生成し、基板は金属酸化窒化物酸化物（MONO）層を保持します。チャンバー内に設置された静電容量性電極は、回転配置の結果として、基板全体にわたってプラズマの均一性を維持するのに役立ちます。アプライドマテリアルズP 5000は、包括的なマルチステッププラズマ処理プロセスを使用して、高密度、10nm以下の分解能を実現します。これには、最初のプラズマ前処理ステップと酸化物エッチング、次に主ガス工程、および洗浄工程と後処理ステップが含まれます。前処理ステップは、低温プロセスを保証し、パターンが作成される前に基板を浄化します。また、プラズマの高いイオンエネルギーと高温によるエッチング剤としても機能します。主なガスステップは、基板を活性化するための様々なガスと、パターン化されたMONO層のエッチング/除去で構成されています。最後に、洗浄ステップは基板表面から残留ガスを除去し、MONO層の整合性を回復します。P5000の優れた機能により、あらゆる問題の原因と時間を特定できるin-situ診断システムを使用して、洗練された高品質のデバイスを製造できます。自動化された無線周波数ジェネレータと組み合わせることで、基板全体にわたって一貫した均一性を維持し、企業の競争力を確保します。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000も高度にカスタマイズ可能で、お客様のニーズに応じてオーダーメイドのデザインが可能です。全体として、アプライドマテリアルズP-5000は、均一な特性を持つ超精密な金属ナノパターンの製造を支援する先進的なプラズマ加工ツールです。