中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9249468 を販売中

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ID: 9249468
CVD System, 6" Install type: DLH Wafer shape: Lamp heated EMO Type: Turn to release Gas panel: (3) Chambers Clean system: RF Clean AC Rack Generator rack Monitor rack Heat exchanger (3) Chamber type: Chamber A: DLH SA Chamber Chamber B: DLH SA Chamber Chamber D: DLH SA Chamber Loadlock: 8 Slots Cassette, 6" Vent type: Variable speed Mainframe: Buffer robot type: P5000 Buffer robot blade: Blade Status light tower Remote monitor: Table mount Sub-system: AMAT-0 Chiller (3) ADTEC AX-1000AM II RF Generators Electrical configuration: Line voltage: 208 V Full load current: 180 A Frequency: 50/60 Hz CE Marked 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、均一で反復可能な処理結果を提供するように特別に設計された熱処理室です。この原子炉は、均質な温度と大気制御を必要とする幅広い真空プロセスに理想的なソリューションです。AMAT P-5000は、2つの独立したコンパートメントを備えた高度なデュアルチャンバー設計を備えており、同時に使用できます。統合されたウェーハ搬送装置は、さまざまなサンプルサイズの簡単な操作と制御された動きを提供します。このシステムには、メインコントロールとロードロックコントローラという2つのメインコントローラも組み込まれており、さまざまな構成で使用できます。APPLIED MATERIALS P 5000ユニットは、さまざまな動的制御機能を備えており、プロセスを正確に微調整し、所望のパフォーマンス結果を達成することができます。機械は10°Cと800°Cの間の均等に配られた温度を保障する自己パージング、薄膜によって環状にされる発熱体によって動力を与えられます。さらに、このツールには強力なエアフィードクライオポンプが装備されており、迅速な真空運転を保証します。さらに、堅牢な水冷ブロワーにより、完全に内蔵された歪みのない加工が保証され、高精度の結果が得られます。汎用性の高いP-5000炉には、サンプルカルーセルへの容易なアクセスを可能にする調整可能な高性能の蓋が装備されています。ふたは2部屋構成内の4つの異なったカルーセルを握り、十分なサンプル容量を提供します。高度な柔軟性により、ユーザーは、ラウンド、正方形、長方形を含むウェーハサイズと形状の広い範囲をインストールすることができます。P5000原子炉には複数の安全機能が装備されており、危険物に対処する際に不可欠です。産業グレードのチャンバーシール資産は、化学的暴露や潜在的な事故に対する重要な保護を提供します。P 5000には、高度なデータロギング機能やイーサネット接続など、複数のソフトウェア駆動機能もあります。この機器は、データのエクスポートとインポートに簡単かつ安全なオンラインアクセスを提供し、プロセス監視、自動データ取得などを簡素化するために、既存の工場ネットワークへの高度な統合を可能にします。全体として、AMAT P5000は、高精度の真空プロセスの広い範囲で高度な均一性、再現性、柔軟性、およびセキュリティを提供するように特別に設計された高度な熱処理チャンバーです。
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