中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9245114 を販売中

ID: 9245114
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
PECVD System, 8" With (2) process chambers 1994 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALIES P5000は、半導体デバイスの製造に使用されるシリコンやガリウムヒ素などの材料を処理するために一般的に使用される水平単一のウェハリアクターです。半導体デバイスの製造に使用される敏感な材料を使用する際に必要な精度と再現性を提供するために設計された高精度ツールです。AMAT P-5000は、ユーザーの特定のニーズを満たすために反応チャンバーをカスタマイズするために使用できるさまざまな機能と機能を備えています。APPLIED MATERIALS P 5000はAMAT/APPLIED MATERIALS Endura Electronicsコントロールを搭載し、アクティブチャンバーのサイズは8 x 8インチ(20。6 x 20。6 cm)で、29hPa〜700hPa (0。1〜5 torr)の圧力で動作できます。さらに、P 5000はさまざまな反応性ガスと組み合わせることができ、抵抗加熱やサーマルクーラーなど、さまざまな温度制御方法をサポートします。APPLIED MATERIALS P-5000の最大ランプレートは毎分600ºCを超え、セットポイント精度は0.1ºCを超えます。チャンバーの内部壁には、一貫した温度プロファイルを維持するように設計された動的表示応力分離技術(DIST)が採用されており、サンプルが有意な熱勾配にさらされないようにしています。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、プロセス監視、真空チャンバー、圧力と流量制御、温度制御、データロギングなど、さまざまな監視および制御機能を備えています。APPLIED MATERIALS P5000は、EnduraやCenturaツールシステム、ウェーハウェアオートメーションソフトウェアなど、他のAMAT処理システムとシームレスに統合できるように設計されています。これにより、さまざまなレベルの自動化が可能になり、ユーザーに目的の結果を達成するための効率的で費用対効果の高い方法を提供します。全体として、AMAT P 5000は高精度の原子炉であり、敏感な半導体デバイスに必要な精度と再現性を提供するように設計されています。
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