中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9243884 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体製造プロセスに超高レートエッチング性能を提供するように設計された先進的なエッチングリアクターです。AMAT P-5000は-25°C〜500°Cの温度で動作し、高度で高効率なプラズマソースを備え、エッチング速度を向上させ、エッチングの均一性を向上させます。APPLIED MATERIALS P 5000は、異なるエッチング工程で簡単に再構成できる上下チャンバーからなるデュアルチャンバー設計を採用しています。上部チャンバーはプラズマ源を含み、下部チャンバーはエッチガスと真空成分を保持します。モジュラー設計により、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000装置を特定のプロセス要件に簡単に調整できます。AMAT P5000の先進的なプラズマ源は、高出力のRFジェネレータと堅牢なマグネトロンを使用して、処理室内で強烈なエッチングプラズマを生成します。このプラズマは高密度（最大3 Watts/cm2）で生成され、周囲の回路の完全性を損なうことなく、精密な精度で材料をエッチングするために使用されます。P 5000はまた、プロセス収率を改善するための特許取得済みのデュアルイオナイザー設計も備えています。デュアルイオナイザーシステムは、2つの独立した高周波RFジェネレータを使用して、処理チャンバ全体に強力で均一なイオンエネルギー分布を作成し、エッチングの均一性を向上させます。アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS） P-5000は、低熱予算デバイスを含む複数のウエハサイズと基板材料を実行するように設計されています。優れた安全性と利便性のために、このユニットは、統合された温度保守機械、自動RFパワーレギュレーション、および信頼性の高い高効率ドライポンプを備えています。最大の柔軟性のために、アプライドマテリアルズP5000は、RFマッチネットワーク、排気ポンプ、ケーブルキット、コントロールパッケージなど、幅広いアクセサリーで利用できます。このツールは、AMAT Pro E-200 Controllerを含む複数の監視および制御システムとも互換性があります。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、超高速度の処理速度で精度の高い材料をエッチングする半導体メーカーを支援する先進のエッチングリアクターです。このアセットは、デュアルチャンバー設計と高効率マグネトロンを使用して、チャンバ内の強力で均一なプラズマを生成します。P5000は、複数のウェーハおよび基板サイズと互換性があり、幅広いアクセサリおよび制御システムでユーザーに最大限の柔軟性を提供します。