中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9238728 を販売中
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販売された
ID: 9238728
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1993
CVD System, 8"
Process: SION
Process chamber A, B & D: SION
RF Generator type:
Chamber A & B: OEM-12B
Chamber D missing
Dry pump type:
Chamber A, B, D & L/L: EDWARDS QDP40 / QMB250
Throttle valve type:
Chamber A, B & D: Non heated
VME System:
20 Slots
CPU: Synergy
Video: VGA
SEI
(2) AI
(2) AO
(4) DI/DO
(4) Steppers
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Process kit type:
Chamber A, B & D: SIN
Manometer type:
Chamber A: MKS 122B 11441S
Chamber B & D: MKS 122B 11441
RF Matching box type:
Chamber A, B & D: 0010-09750 DR
System electronic type:
(2) TC Gauges
Buffer I/O
AI MUX
(2) OPTO
(4) Choppers
+12VPS
+15VPS
-15VPS
Storage elevator: 8 Slots
Cassette handler: Phase III, top clamp
Robot: Phase III
Blade: Phase III
I/O Wafer sensor
Load lock purge
Heat exchanger:
AMAT0:
Connect to chamber A, B & D: Wall / LID
Main frame front type: Through-the-wall
Standard remote frame
TC Gauge type:
Chamber-A Rough: VCR
Chamber-B Rough: VCR
Chamber-D Rough: VCR
L/L Rough: VCR
L/L Chamber: VCR
Lamp module type:
Chamber A, B & D: STD 0010-09337
Mini-con
Magnet driver type:
Chamber A: P/N 0010-50169
Chamber B & D: P/N 0015-09091
Gas panel type: (28) Gases
MFC Type (Main):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
B / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
A / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
D / SIH4 / 500 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2 / 5000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / NF3 / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 300 / N2 / STEC / SEC-4400
MFC Type (Remote):
Chamber / Flow Gas / Flow size / Calibration gas / Maker / Model
B / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
B / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
A / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 1000 / N2 / STEC / SEC-4400
D / N2O / 3000 / N2 / STEC / SEC-4400
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、シリコン、ガラス、セラミックスなどの材料を基板に堆積させるために使用される、特に長いバレル、高温拡散炉である。この装置は非常に安定した動作を提供するように設計されており、さまざまな業界での使用に適したいくつかの機能を備えています。AMAT P-5000は、高品質の製品を生産する上で非常に有益な急速な熱処理を提供し、低欠損率を確保するように設計されています。これは、ファン強制空気循環システム、デジタルタッチスクリーンインターフェイス、およびユーザプログラマブル設定の配列など、多数の機能のおかげで達成されます。デジタルタッチスクリーンインターフェイスは使いやすく、操作と設定のカスタマイズを迅速に制御できます。APPLIED MATERIALTS P 5000はまた、バレル全体にわたって一貫した温度を保証するロングバレル設計を特徴としています。バレル全体で一貫した均一な温度を維持する再循環ユニットにより、温度の均一性がさらに向上します。さらに、この機械は安全な操作を保障するために自動シャットオフおよび自動圧力救助装置のような多数の安全機能を含んでいます。AMAT P 5000は、シリコン、ガラス、セラミックスなどのさまざまな材料に対応するように設計されています。これにより、原子炉はエレクトロニクス、自動車、航空宇宙などさまざまな産業で使用され、非常に高品質の完成品を生産することができます。全体的に、アプライドマテリアルズP5000は、高速熱処理と高品質の製品を提供するように設計された、長バレル、高温拡散炉です。この原子炉は、安全で一貫した動作を確保するために、ファン強制空気循環ツールやデジタルタッチスクリーンインターフェイスなど、技術的に高度な機能を備えています。様々な素材を取り扱うことができ、優れた品質の完成品を生産するために、複数の業界で成功裏に採用することができます。
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